本发明公开了一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所...

本发明涉及流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置与方法。流体在管道内流动时，遇到横截面形状与/或面积变化，会产生紊流。利用这种现象，在管道外设置横截面形状与/或面积调节装置，产生紊流，流体质点相互掺混均匀；流体管路常需要把流量调小，目...

本发明公开了一种流体流量调节装置及流体输送设备。本发明提供一种流体流量调节装置。所述流体流量调节装置包括支撑件、保持板及抵接件。所述保持板设置在所述支撑件上，所述保持板用于支撑流体传输装置。所述抵接件设置在所述支撑件上，并与所述保持板正...

本发明提供用于塑胶管热扩管的加热工具与加热方法，用导热元件接收电热元件的热量并对塑胶管的内壁和/或外壁进行加热，加热后利用扩管模具进行扩管；或把导热元件做成扩管模具的形状，塑胶管套在其细端，塑胶管受热后下压变形套在导热元件的粗端，冷却后...

本实用新型公开了一种晶圆载具。用这种载具，使适用于加工单一大直径晶圆的设备能加工多种直径的晶圆。载具包括晶圆仓、两个侧耳加宽部和腿垫高部。两个侧耳加宽部和腿垫高部使得载具等效于在宽度、高度上与对应的机械手匹配的装载较大直径晶圆的晶圆仓。...

本发明公开了一种晶圆载具及其制作方法。用这种载具，使适用于加工单一大直径晶圆的设备能加工多种直径的晶圆。载具包括晶圆仓、两个侧耳加宽部和腿垫高部。两个侧耳加宽部和腿垫高部使得载具等效于在宽度、高度上与对应的机械手匹配的装载较大直径晶圆的...

本实用新型公开了一种晶圆转移装置，其包括支撑台、托盘、第一机械臂和第二机械臂；所述支撑台设置有通孔，所述支撑台可升降地设置；所述托盘固定设置于所述支撑台下方，所述支撑台升降降过程中使所述托盘自所述通孔穿过；所述第一机械臂与所述第二机械臂...

本实用新型公开了一种可升降的引线框架托举装置，其特征在于，包括:托叉；第一驱动装置，所述第一驱动装置驱动所述托叉升降地设置或通过第一传动机构驱动所述托叉升降地设置；第二驱动装置，所述第二驱动装置驱动所述托叉水平移动地设置或通过第二传动机...

本实用新型公开了一种针式零件生产用夹具，其包括零件固定机构、支撑机构及抵压机构和弹性复位装置。所述零件固定机构用于固定针式零件；所述支撑机构与抵压机构用于共同夹持所述零件固定机构；所述支撑机构与所述抵压机构可相对运动地设置；所述弹性复位...

本实用新型公开了回收挥发性有机氯化物气体的装置，其包括：一个或多个吸附塔，所述吸附塔中装置有吸附树脂；加热装置，所述加热装置与全部或部分所述吸附塔连通，用于将热气体或水蒸气输入所述吸附塔内；第一冷凝器，所述第一冷凝器与全部或部分所述吸附...