本发明公开了一种水爆破碎多晶硅料的方法，该方法的具体过程为：将原生硅多晶硅棒料置于高真空熔炼炉内并抽真空，然后通入氩气并加热保温后随炉冷却，将冷却的装载原生硅多晶硅棒料的装料框进行流动水冷却，得到表面产生裂纹的原生硅多晶硅棒料，再进行对...

本发明公开了硅粉在多晶硅铸锭制备中的应用，该多晶硅铸锭的制备方法包括：一、将硅粉与硅回用料、硅颗粒、多晶硅块料、多晶硅棒料、硅籽晶装入到铸锭炉的石英坩埚中作为铸锭用硅料；步骤二、对铸锭炉抽真空后加热；三、将铸锭用硅料熔化；四、向铸锭炉中...

本发明公开了一种基于氮化硼涂层的多晶硅铸锭工艺，包括步骤：一、坩埚底部涂层制备；二、多晶硅铸锭：201、装料；202、预热；203、熔化；204、长晶；205、退火及冷却：2051、第一次退火：将多晶硅铸锭炉的加热温度降至T4并保温2h...

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉用六面加热装置，包括布设在多晶硅铸锭炉内的坩埚上方的顶部加热器、四个分别布设在坩埚的四个侧壁外侧的侧部加热器和布设在坩埚下方的底部加热器，坩埚为立方体坩埚；坩埚呈水平布设，顶部加热器和底部加热器均呈水平布...

本实用新型公开了一种基于辅助加热的多晶硅铸锭用加热系统，包括主控器、布设在多晶硅铸锭炉内的六面加热装置和对六面加热装置的加热温度进行实时检测的温度检测装置，六面加热装置包括辅助加热器、位于多晶硅铸锭炉内的坩埚上方的顶部加热器和四个分别布...

本发明公开了一种多晶硅铸锭坩埚底部氮化硼涂层材料，由以下重量份的原料制成：有机胶结剂1份，去离子水2～2.5份，氮化硼0.8～1.2份，该涂层材料以氮化硼作为主要原料，能增大坩埚底部导热效果，并能降低坩埚底部氧含量，并且稳定性好，铸锭过...

本发明公开了一种多晶硅铸锭工艺，包括以下步骤：一、辅助加热器安装：在多晶硅铸锭炉内安装辅助加热器；辅助加热器为布设在坩埚下方的底部加热器；二、装料；三、预热；四、熔化，过程如下：401、六面加热熔化；402、五面加热熔化；403、后续熔...

本发明公开了一种降低多晶硅铸锭底部氧含量的多晶硅铸锭方法，包括步骤：一、坩埚底部涂层制备：涂层喷涂液配制、喷涂和烘干；二、装料：向带底部涂层的坩埚内装入硅料，并将内装硅料的坩埚装入多晶硅铸锭炉内；多晶硅铸锭炉内装有六面加热装置；六面加热...

本发明公开了一种多晶硅半熔铸锭方法，包括步骤：一、预热：采用多晶硅铸锭炉对装于坩埚内的硅料进行预热，多晶硅铸锭炉的顶侧比系数c＝1；二、熔化及后期排杂，过程如下：201、熔化；202、熔化后期排杂：采用多晶硅铸锭炉对硅料进行继续熔化，继...

本发明公开了一种母合金的制备方法，包括步骤：一、坩埚底部涂层制备，过程如下：101、涂层喷涂液配制；102、涂层喷涂液的喷涂量确定：根据需制备母合金铸锭中杂质硼的浓度，并结合坩埚的装料量，对涂层喷涂液的喷涂量进行确定；103、喷涂：采用...

本发明公开了一种多晶硅半熔铸锭用熔料及长晶工艺，步骤一、熔化及后期排杂，过程如下：101、熔化：按照常规的多晶硅半熔铸锭法，采用多晶硅铸锭炉对装于坩埚内的硅料进行熔化；102、熔化后期排杂：采用多晶硅铸锭炉对装于坩埚内的硅料继续熔化，继...

本发明公开了一种减小晶粒度的多晶硅铸锭方法，包括以下步骤：一、装料；二、预热；三、熔化；四、熔化后至长晶前处理：401、降温：将多晶硅铸锭炉的加热温度由T2降至T3，并保温15～25min，T2＝1540～1560℃，T3＝1410～1...

本发明公开了一种降低多晶硅铸锭底部氧含量的方法，包括步骤：一、坩埚底部涂层制备，过程如下：101、涂层喷涂液配制：将有机胶结剂、去离子水和氮化硼按1∶2～2.5∶0.8～1.2的质量比均匀混合，得到涂层喷涂液；102、喷涂：采用喷涂设备...

本发明公开了一种多晶硅铸锭用退火工艺，包括以下步骤：步骤一、第一次退火：多晶硅铸锭过程中长晶结束后，经50min～70min将多晶硅铸锭炉的加热温度降至T1，并保温2h～3h；其中，T1＝1250℃～1280℃；步骤二、第二次退火：经5...

本发明公开了一种基于辅助加热的多晶硅铸锭用熔料方法，包括步骤：一、辅助加热器安装：在多晶硅铸锭炉内安装辅助加热器，辅助加热器为布设在坩埚下方的底部加热器，底部加热器、顶部加热器和四个侧部加热器组成六面加热装置；二、装料；三、预热：将六面...

本发明公开了一种多晶硅铸锭方法，包括步骤：一、辅助加热器安装：在多晶硅铸锭炉内安装辅助加热器；辅助加热器为坩埚下方的底部加热器且其与顶部加热器和四个侧部加热器组成六面加热装置；二、装料；三、预热；四、熔化：六面加热熔化、五面加热熔化和后...

本发明公开了一种多晶硅半熔铸锭用排杂方法，包括步骤：一、熔化及排杂，过程如下：101、熔化：采用多晶硅铸锭炉对装于坩埚内的硅料进行熔化，并向多晶硅铸锭炉内充入惰性气体进行保压；102、降压排杂；103、熔化后期排杂：先将多晶硅铸锭炉的气...

本实用新型公开了一种硅片带电多线切割装置，包括直流电源、与直流电源的负极连接的导电胶带和对待切割硅棒进行切割的多线切割机；所述多线切割机的工作台上粘接固定有玻璃板，所述玻璃板上涂抹有一层第一粘接胶涂层，所述导电胶带粘接固定于玻璃板上所涂...

本实用新型公开了一种硅片多线切割用带电切割机构，包括直流电源、与直流电源的负极连接的导电胶带和对待切割硅棒切割用钢线进行收放的收放线机构，所述导电胶带粘接固定于待切割硅棒上；所述收放线机构包括放线轮和与放线轮配合使用的收线轮，所述放线轮...

本发明公开了一种硅片带电多线切割方法，包括步骤：一、硅棒粘接，过程如下：玻璃板固定、导电胶带固定和硅棒固定；二、直流电源接线：将导电胶带与直流电源负极连接，并将多线切割机中收放线机构的放线轮或收线轮与直流电源正极连接；三、硅棒线带电切割...