本实用新型公开了一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置，包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在水路管道一上的电磁控制阀一、安装在水路管道二上的电磁控制阀二、对数控磨床中需冷却部位温度进行检测的温...

本实用新型公开了一种硅晶圆多线切割用下料周转车，包括能自由出入脱胶机进料口的车体和安装在车体上且带动车体进行前后移动的驱动机构，车体的顶部高度不高于脱胶机进料口的上部高度，且车体的横向宽度小于脱胶机进料口的横向宽度；车体内设置有供需运送...

本实用新型公开了一种单晶炉热量回收采暖系统，包括安装在供暖区域内的中央空调系统和对所述单晶炉排出的热量进行集中的集热管道，所述集热管道的一端安装在单晶炉排风口上且其另一端安装在所述中央空调系统的空调换热器上。本实用新型设计合理、安装布设...

本发明公开了一种提高单晶硅纵向电阻率一致性的装置及其处理工艺，其装置包括单晶炉，单晶炉主炉室内设置有石英坩埚、导流筒、石墨坩埚和石墨热场系统，还包括水平放置在石英坩埚内侧中部的石英筒，石英筒底部沿圆周方向开有用于将石英坩埚内腔与石英筒内...

本实用新型公开了一种轴向紊流流型多线切割机用砂浆及高粘流体单轴搅拌器，包括搅拌轴、搅拌组件和驱动机构，搅拌组件包括带动物料沿搅拌罐罐体的内壁做轴向螺旋向上或向下运动的叶轮和物料由罐底做轴向螺旋向上或向下运动的同时将物料流动方向限制为沿搅...

本发明公开了一种直拉硅单晶的生产工艺，包括以下步骤：1、硅原料及掺杂剂准备；2、装料；3、抽真空处理；4、熔料；5、熔料后提渣，其提渣过程如下：501、降温结晶；502、逐步升温并维持结晶过程连续进行直至硅熔体表面漂浮的不溶物全部被结晶...

本实用新型公开了一种轴向紊流流型多线切割机用砂浆及高粘流体多轴搅拌器，包括多个沿圆周方向均匀布设在搅拌罐罐体内的多个单轴搅拌单元，多个单轴搅拌单元的结构均相同；单轴搅拌单元包括竖直向布设的搅拌轴、搅拌组件和驱动机构；搅拌组件同轴安装在搅...

本发明公开了一种提高直拉硅单晶生产效率的方法，包括以下步骤：一、硅原料及掺杂剂准备；二、装料；三、单晶炉炉内处理：按直拉法常规处理工艺，依次完成合炉、抽真空、熔料、引晶、放肩、转肩和等径生长过程；四、后期处理，过程如下：首先、关闭单晶炉...

本发明公开了一种半导体级单晶硅生产工艺，包括以下步骤：一、横向磁场布设：所布设横向磁场的磁场强度为1300高斯±100高斯；二、硅原料及掺杂剂准备；三、装料；四、熔料；五、引肩及放肩；六、转肩：放肩结束后进行转肩时，以3±0.3mm/m...

本实用新型公开了一种多线切割机砂浆循环及供给系统，包括成品砂浆存储罐、由主供给管道和支供给管道连通组成的砂浆供给管道、辅助回流管道、由废液回抽主管道和废液回抽支管道连通组成的砂浆回抽管道、废液回收罐、废砂浆分离提纯设备、碳化硅浓浆存储罐...