窄带化模块具有：反射镜，其包含底面和光的反射面；光栅，其对反射面反射的光进行波长色散；基座板，反射镜的底面通过粘接剂固定于该基座板；旋转台，其配置有基座板，使基座板以旋转轴为轴绕轴旋转，使得反射镜以旋转轴为轴绕轴旋转，旋转轴与光进行波长...

感光基板的制造方法包含以下步骤：对被曝光的感光基板进行加热，以使其在多个扫描场中分别呈现在感光基板的面上在与第1方向交叉的第2方向上具有温度梯度的温度分布，该感光基板通过利用包含多个中心波长的脉冲激光经由光掩模在第1方向上分别扫描感光基...

激光装置具有：第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大；波长转换系统，其对从第1放大器输出的第1脉冲激光进行波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大；监视器模块，其...

激光装置具有：波长可变的第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大，而输出第1脉冲激光；波长转换系统，其通过使用第1脉冲激光的波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大...

一种气体激光装置的腔室的烘烤方法，在腔室的内部空间中产生光，在腔室的与内部空间接触的壁面的外侧设置有冷却通路，所述冷却通路构成为，冷却腔室的冷却介质在该冷却通路中流动，所述烘烤方法具备：加热步骤，在内部空间中产生光之前，使加热介质在冷却...

本公开的一个观点的激光装置具备：电源；主电容器；固态开关；升压用变压器；第一磁脉冲压缩电路，其具有第一传输电容器和第一磁开关，连接在升压用变压器的二次侧；第二磁脉冲压缩电路，其具有第二传输电容器和第二磁开关，连接在第一磁脉冲压缩电路的后...

窄带化激光装置具备：光学元件及衍射光学元件，它们位于光谐振器的光路上；波长致动器，其通过移动光学元件来变更入射到衍射光学元件的光的入射角；波长驱动器，其驱动波长致动器；处理器，其向波长驱动器输出波长控制信号，以使从光谐振器输出的脉冲激光...

本公开的1个观点的激光装置被用于通过在含有氧的气体中对被加工物照射激光来进行激光加工的激光加工系统，其中，该激光装置具有：固体振荡器，其包含输出如下激光的固体激光装置，该激光具有100ps以上且1ns以下的范围内的脉冲宽度，且在ArF准...

在气体激光装置的腔室中，从在第一主电极与第二主电极之间沿着规定方向延伸的假想轴到第一端部的距离随着从规定方向上的一侧朝向另一侧而变长，从假想轴到第二端部的距离随着从规定方向上的一侧朝向另一侧而变短。

气体激光装置可以具备：腔室，其包含长度方向沿着规定方向配置且相互隔开间隔地对置的一对放电电极，并封入有激光气体；多个电容器，它们沿着规定方向排列，一方的端子与一个放电电极电连接，另一方的端子与另一个放电电极电连接；以及第一磁开关和第二磁...

本公开的一个观点的放电电极用于气体激光装置，该气体激光装置通过放电来激励包含氟的激光气体，该放电电极具备：阴极电极，其在一个方向上延伸；以及阳极电极，其在一个方向上延伸，并且在与一个方向正交的放电方向上与阴极电极对置配置。阴极电极和阳极...

在内部空间封入激光气体的气体激光装置的腔室具备：第一主电极和第二主电极，它们的长度方向沿着规定方向，在内部空间中彼此隔着间隔对置；窗口，其设置在腔室的壁面，使来自内部空间的光透过；以及第一预电离电极，其设置在第一主电极的一个侧方，第一预...

激光装置具有：激光振荡器，其包含波长调节器，输出具有由波长调节器调整后的中心波长的脉冲激光；谱监视器，其生成脉冲激光的谱数据；以及处理器，其对波长调节器进行控制，以使脉冲激光的中心波长按照目标波长而变化，该目标波长周期性地变化为包含第1...

输出脉冲激光的光源的部件的剩余脉冲成本计算方法包含以下步骤：处理器取得将光源的部件和通过光源的工作而逐次存储的部件的工作脉冲数关联起来而成的第1数据；处理器取得将部件和部件的标准保证脉冲数关联起来而成的第2数据；处理器取得将光源和光源的...

训练模型的制作方法包含以下步骤：通过蓄积如下数据来制作数据库，该数据是在对激光装置的电装系统硬件和软件进行模型化而得到的数字孪生上损坏激光装置内的部件，并将已破坏的部件和数字孪生所输出的不良现象对应起来而成的数据；以及以接收不良现象的信...

电子器件的制造方法包含以下步骤：取得脉冲激光的脉冲谱形状和应该通过多个脉冲的脉冲激光来实现的目标累计谱形状，多个脉冲根据周期性地变更脉冲激光的中心波长的波长序列而生成，计算为了实现目标累计谱形状而被分配给多个脉冲的多个目标中心波长和各目...

激光器系统具有：第1半导体激光装置，其输出第1CW激光；第1半导体光放大装置，其对第1CW激光进行放大而输出第2CW激光；光参量放大装置，其对第2CW激光进行放大而输出第1脉冲激光；以及波长转换装置，其对第1脉冲激光进行波长转换而输出深...

本公开的一个观点的激光装置具有：振荡器，其射出激光；放大器，其在包含一对放电电极的腔内对激光进行放大；前侧光学系统和后侧光学系统，它们被配置于隔着腔对置的位置，构成环形谐振器，该环形谐振器包含在一对放电电极之间交叉的第1光路和第2光路；...

提供考虑了利用包含多个中心波长的脉冲激光对感光基板进行曝光的情况下产生的轴外色差的光邻近效应校正方法。光掩模的制作方法包以下步骤：利用脉冲激光经由测试掩模在第1方向上扫描测试晶片，对测试晶片进行构图(S2、S3a、S4a)；对构图后的测...

气体激光装置具备：导电性激光腔，其包括开口及一对窗；电绝缘部，其堵住开口；第一电极，其固定于电绝缘部的位于激光腔的内部空间侧的面上；以及第二电极，其在激光腔的内部空间中与第一电极对置，第一电极具有：接触区域，其与电绝缘部的面接触；对置面...