激光装置具备：一对电极，其使得产生放电；以及光学脉冲扩展装置，其对通过在电极间产生的放电而生成的脉冲激光的脉冲宽度进行扩展，光学脉冲扩展装置具备：分束器，其供脉冲激光入射的光学面相对于脉冲激光的光路轴倾斜地配置，将入射到光学面的脉冲激光...

一种窄带化激光装置，其具备：激光谐振器，其包括输出耦合镜和窄带化模块，窄带化模块包括棱镜和光栅，光栅的反射面为凹面状；激光腔室，其包括一对放电电极，且配置在激光谐振器的光路上；电源，其对放电电极施加高电压脉冲，高电压脉冲的重复频率可变；...

本公开的一个观点的激光加工方法包括如下工序：使通过以第一照射条件向第一玻璃基板照射第一紫外脉冲激光而由第一玻璃基板产生的生成物堆积在第二玻璃基板的加工位置；以及通过以与第一照射条件不同的第二照射条件对堆积有生成物的加工位置照射第二紫外脉...

气体激光装置的腔在内部空间封入激光气体，该腔具有：第1主电极和第2主电极，它们的长度方向沿着规定方向，它们在内部空间中彼此分开地对置；窗口，其被设置于腔的壁面，来自内部空间的光透过该窗口；以及第1预电离电极，其被设置于第1主电极的一侧，...

激光装置具有：激光腔，其与气体循环系统连接，气体循环系统包含汇合配管，从包含激光装置在内的多个激光装置排出的排出气体在汇合配管汇合，气体循环系统选择包含氙的新气体和在汇合配管中流动的循环气体中的一方并将其供给到多个激光装置；排出配管，其...

激光系统具有：泵浦激光装置，其输出第1波长的泵浦激光；信号激光装置，其输出比第1波长长的第2波长的信号激光；以及放大系统，其包含输出第2波长的放大光的多个光参量晶体，放大系统被配置成，从第1光参量晶体输出且入射到第2光参量晶体的第2波长...

使用于通过放电来激励包含氟的激光气体的气体激光装置的放电电极具备阴极和阳极。阳极与阴极对置地配置，包括：电极基材，其包含有金属；以及涂层，其覆盖电极基材的与长度方向平行的侧面的一部分，且包含有绝缘材料。涂层包含：第一部分，其覆盖侧面中的...

窄带化模块具有：反射镜，其包含底面和光的反射面；光栅，其对反射面反射的光进行波长色散；基座板，反射镜的底面通过粘接剂固定于该基座板；旋转台，其配置有基座板，使基座板以旋转轴为轴绕轴旋转，使得反射镜以旋转轴为轴绕轴旋转，旋转轴与光进行波长...

感光基板的制造方法包含以下步骤：对被曝光的感光基板进行加热，以使其在多个扫描场中分别呈现在感光基板的面上在与第1方向交叉的第2方向上具有温度梯度的温度分布，该感光基板通过利用包含多个中心波长的脉冲激光经由光掩模在第1方向上分别扫描感光基...

激光装置具有：第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大；波长转换系统，其对从第1放大器输出的第1脉冲激光进行波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大；监视器模块，其...

激光装置具有：波长可变的第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大，而输出第1脉冲激光；波长转换系统，其通过使用第1脉冲激光的波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大...

一种气体激光装置的腔室的烘烤方法，在腔室的内部空间中产生光，在腔室的与内部空间接触的壁面的外侧设置有冷却通路，所述冷却通路构成为，冷却腔室的冷却介质在该冷却通路中流动，所述烘烤方法具备：加热步骤，在内部空间中产生光之前，使加热介质在冷却...

本公开的一个观点的激光装置具备：电源；主电容器；固态开关；升压用变压器；第一磁脉冲压缩电路，其具有第一传输电容器和第一磁开关，连接在升压用变压器的二次侧；第二磁脉冲压缩电路，其具有第二传输电容器和第二磁开关，连接在第一磁脉冲压缩电路的后...

窄带化激光装置具备：光学元件及衍射光学元件，它们位于光谐振器的光路上；波长致动器，其通过移动光学元件来变更入射到衍射光学元件的光的入射角；波长驱动器，其驱动波长致动器；处理器，其向波长驱动器输出波长控制信号，以使从光谐振器输出的脉冲激光...

本公开的1个观点的激光装置被用于通过在含有氧的气体中对被加工物照射激光来进行激光加工的激光加工系统，其中，该激光装置具有：固体振荡器，其包含输出如下激光的固体激光装置，该激光具有100ps以上且1ns以下的范围内的脉冲宽度，且在ArF准...

在气体激光装置的腔室中，从在第一主电极与第二主电极之间沿着规定方向延伸的假想轴到第一端部的距离随着从规定方向上的一侧朝向另一侧而变长，从假想轴到第二端部的距离随着从规定方向上的一侧朝向另一侧而变短。

气体激光装置可以具备：腔室，其包含长度方向沿着规定方向配置且相互隔开间隔地对置的一对放电电极，并封入有激光气体；多个电容器，它们沿着规定方向排列，一方的端子与一个放电电极电连接，另一方的端子与另一个放电电极电连接；以及第一磁开关和第二磁...

本公开的一个观点的放电电极用于气体激光装置，该气体激光装置通过放电来激励包含氟的激光气体，该放电电极具备：阴极电极，其在一个方向上延伸；以及阳极电极，其在一个方向上延伸，并且在与一个方向正交的放电方向上与阴极电极对置配置。阴极电极和阳极...

在内部空间封入激光气体的气体激光装置的腔室具备：第一主电极和第二主电极，它们的长度方向沿着规定方向，在内部空间中彼此隔着间隔对置；窗口，其设置在腔室的壁面，使来自内部空间的光透过；以及第一预电离电极，其设置在第一主电极的一个侧方，第一预...

激光装置具有：激光振荡器，其包含波长调节器，输出具有由波长调节器调整后的中心波长的脉冲激光；谱监视器，其生成脉冲激光的谱数据；以及处理器，其对波长调节器进行控制，以使脉冲激光的中心波长按照目标波长而变化，该目标波长周期性地变化为包含第1...