本公开的激光装置具有：激光输出部，其进行激光振荡；以及控制部，其在停止从激光输出部向外部装置输出激光的期间内，取得在激光输出部中进行基于第1激光控制参数的激光振荡的情况下得到的第1激光性能数据和在激光输出部中进行基于第2激光控制参数的激...

激光装置具有光学元件，该光学元件由CaF

本发明提供一种激光装置和窄带化光学系统。激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其被配置在所述腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向垂直的第1方向上扩展；...

本发明提供一种激光装置和窄带化光学系统。激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其被配置在所述腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向垂直的第1方向上扩展；...

气体激光装置具有：磁轴承，其包含能够对磁力进行控制的电磁铁，该磁轴承将流过激光气体的风扇的旋转轴支承为在通过磁力而磁悬浮的状态下旋转自如；电磁铁控制部，其根据旋转轴的悬浮位置的位移来控制电磁铁的磁力，从而调节悬浮位置；电动机，其产生使风...

本公开的固体激光系统具有：第1固体激光装置，其输出第1波长的第1脉冲激光束；第2固体激光装置，其输出第2波长的第2脉冲激光束；第1非线性晶体，其配置在第1脉冲激光束和第2脉冲激光束行进的第1光路上，通过和频产生过程将第1脉冲激光束和第2...

一种激光系统，其具有：A、激光装置，其输出脉冲激光；B、光学脉冲扩展器，其包含用于延长脉冲激光的脉冲宽度的延迟光路；以及C、相位光学元件，其包含在延迟光路内，且包含使脉冲激光的相位在空间上随机地偏移的功能。相位光学元件包含多种单元，该多...

激光加工系统具有：A、波长可变激光装置，其输出脉冲激光，并且能够使脉冲激光的波长发生变化；B、光学系统，其对被加工物照射从波长可变激光装置输出的脉冲激光；C、基准波长取得部，其取得与基于被加工物的材料的光子吸收对应的基准波长；D、激光加...

本公开的激光装置具有：激光腔，其包含一对电极，以多个脉冲重复频率中的各频率射出脉冲激光束，该脉冲激光束具有与对一对电极之间施加的施加电压对应的脉冲能量；能量检测器，其设置在脉冲激光束的光路上，检测脉冲激光束的脉冲能量；电压控制部，其根据...

激光装置具备：A、固态激光装置，其输出包括多个脉冲的突发种子脉冲光；B、准分子放大器，其在放电空间中，利用一次放电对突发种子脉冲光进行放大，作为放大突发脉冲光输出；C、能量传感器，其计测放大突发脉冲光的能量；以及D、激光控制部，其基于从...

激光加工系统具备：波长可变激光装置，其输出氧吸收光的波长的吸收线和氧的吸光量比吸收线少的波长的非吸收线各自的激光；光学系统，其向被加工物照射激光；以及激光控制部，其控制波长可变激光装置的激光控制部，在包含氧的气体中对被加工物的表面进行激...

激光气体再生系统用于准分子激光装置，该准分子激光装置包含构成为能够向激光腔供给第1激光气体的第1配管、构成为能够向激光腔供给卤素气体浓度比第1激光气体高的第2激光气体的第2配管、构成为能够供从激光腔排出的气体通过的第3配管，其中，激光气...

激光装置具有：腔室，其在内部配置有一对放电电极；气体供给排放装置，其向腔室的内部供给激光气体，排放腔室的内部的激光气体；以及控制部，其构成为进行第1控制和第2控制，在该第1控制中，对气体供给排放装置进行控制，以按照第1射数或按照第1经过...

在放电激励式的激光装置中对波长色散进行校正。激光装置具有在与一对放电电极(11a、11b)之间的放电方向垂直的方向上引起波长色散的第1波长色散元件(14a～14e)、以及在与放电方向平行的方向上引起波长色散的第2波长色散元件(32)。激...

在具有窄带化光学系统的放电激励式的激光装置中，减少对窄带化光学系统施加的热负荷。激光装置具有在内部配置有一对放电电极(11a、11b)的激光腔(10)、以及包含配置在激光腔(10)外的光栅(14e)的窄带化光学系统(14)。激光装置还具...

激光退火用的激光装置具有：A.激光振荡器，其输出脉冲激光；以及B.OPS装置，其包含至少1个OPS，该OPS配置在从激光振荡器输出的脉冲激光的光路上，将入射的脉冲激光的脉冲时间宽度展宽，OPS中的延迟光路的长度即延迟光路长度L最小的第1...

本实用新型提供一种放电型气体激光装置。所述放电型气体激光装置包括：激光腔室、电源腔室、预电离电容器和冷却机构；所述冷却机构配置于所述电源腔室内，包括制冷剂供应部和制冷剂排出部；其中，所述制冷剂供应部形成为管状并且具有朝向所述预电离电容器...

放电激励式的气体激光装置具有：A.第1放电电极和第2放电电极，它们对置配置；B.多个峰化电容器，它们与第1放电电极连接；C.充电器；D.多个脉冲功率模块，其中，1个脉冲功率模块包含了D1.从充电器被施加充电电压的充电电容器、D2.针对保...

本实用新型提供一种放电型气体激光装置。所述放电型气体激光装置包括：激光腔室、电源腔室、电极电容器、预电离电容器、冷却机构以及板；所述板包括制冷剂遮蔽部，所述制冷剂遮蔽部抑制制冷剂在所述电源腔室和所述电极电容器之间的空间内的流通。由此，能...

窄带化KrF准分子激光装置包括激光腔、窄带化光学系统、致动器、输出耦合镜、波长检测器以及波长控制部。致动器构成为能够变更由窄带化光学系统选择的光的波长。波长检测器包括低压水银灯、标准具及光分布传感器，低压水银灯在内部收纳有水银、对水银的...