激光加工装置具有：载置台，其载置被加工物；整形光学系统，其构成为对激光进行整形，以使激光在掩模中的第1照射区域成为具有短边和长边的矩形，该掩模构成为遮断激光的一部分，整形光学系统能够固定第1照射区域的与短边平行的方向上的第1照射宽度和第...

本公开的一个观点的激光系统通过波长转换系统将利用第1放大器对从第1半导体激光器系统输出的第1脉冲激光进行放大而得到的第2脉冲激光，波长转换为紫外线的第3脉冲激光，利用准分子放大器对第3脉冲激光进行放大。第1半导体激光器系统包含：第1电流...

本公开的一个观点的激光系统具有输出第1脉冲激光的波长可变的第1固体激光装置、对第1脉冲激光进行波长转换的波长转换系统、放大由波长转换系统进行波长转换后的脉冲激光的准分子放大器、以及控制部。波长转换系统包含供第1脉冲激光入射的第1非线性晶...

本公开的一个观点的激光系统包含第1固体激光装置、波长转换系统、准分子放大器和控制部，第1固体激光装置包含第1多半导体激光器系统、第1半导体光放大器和第1光纤放大器。第1多半导体激光器系统包含第1多个半导体激光器、第1谱监视器和第1合束器...

本发明提供脉冲激光的生成方法。固体激光器装置具有：种子激光器，输出作为CW激光的种子光；光强度可变部，通过变更种子光的光强度而将种子光脉冲化，并作为种子脉冲光而输出；CW激励激光器，输出CW激励光；放大器，基于通过CW激励光的光激励被增...

本申请实施例提供一种气体激光装置以及曝光系统，包括：腔室、第1部件、第2部件、光学元件、第1固定件和第2固定件；第1固定件使所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件一起紧固并且固定在输出部；所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的...

本公开的一个观点的光刻系统的维护管理方法包含：按照每个构成光刻系统的1组单位的装置组即光刻单元整理工作信息并进行保存；整理每个光刻单元的与消耗品有关的维护信息并进行保存；根据每个光刻单元的工作信息和与消耗品有关的维护信息计算每个光刻单元...

激光装置，其中，所述激光装置具有：腔室，其在内部配置有一对放电电极；气体供给排放装置，其向所述腔室的内部供给激光气体，并排放所述腔室的内部的激光气体；压力传感器，其用于计测所述腔室的内部的气压；以及控制部，其构成为进行第1控制和第2控制...

本申请实施例提供一种光学脉冲伸长装置以及激光系统。所述光学脉冲伸长装置包括：第1光学元件，第2光学元件，光学元件保持部以及壳体；所述光学脉冲伸长装置还包括：第1开口，遮挡部件，基体，包括第1钩部、第2钩部、第3钩部、钩保持部、第1部件以...

本申请实施例提供一种定位测量装置、定位调节装置以及激光系统。所述定位测量装置包括：第1部件，其具有供入射的激光通过的第1开口，并使所述入射的激光的光束直径减小并且输出所述激光；第1光学元件，其对所述激光的至少一部分进行反射；第2部件，其...

本公开的一个观点的能量计测装置使主光的一部分在第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器依次反射而输入到能量传感器。配置第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器，以成为抑制由于主光的入射角变化和偏振纯度变化而引起的能量传感器的...

本公开的一个观点的激光加工装置具有：载置台，其载置被加工物；光学系统，其将激光引导至被载置于载置台的被加工物；气体供给口，其向被加工物上的激光的照射区域的周边供给气体；气体回收口，其回收从气体供给口供给的气体；移动装置，其使被加工物上的...

光脉冲展宽器具备：分离光学元件，其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；反射光学系统，其引导第一反射光，使其入射到分离光学元件的与第一面相反侧的第二面，保持部件，其配置在反射光学元件的背面侧，保持反射光学元件。

本实用新型实施例提供一种放电激励气体激光装置。通过在第1密封部件的大气侧设置第2密封部件，并且，向第1密封部件与第2密封部件之间的空间内导入惰性气体或氮气，这样，能够通过导入的惰性气体或氮气对该空间内的气体进行净化，防止了大气中的水分和...

激光气体再生装置对从至少一个ArF准分子激光装置排出的排出气体进行再生，并将再生气体供给到至少一个ArF准分子激光装置，该至少一个ArF准分子激光装置与第1激光气体供给源和第2激光气体供给源连接，第1激光气体供给源供给包含氩气、氖气和第...

准分子激光装置的激光腔具有：容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及密封部件，其被配置于所述第1部件与所述第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透...

本实用新型实施例提供一种气体激光装置，通过将第1端口朝向壳体的开口侧，将第2端口朝向背面侧，这样，在对气体供应部进行维护或维修时，维护或维修人员对需要更换的与第1端口连接的管道进行拆卸和更换，不对与不需要更换的第2端口连接的管道进行拆卸...

激光气体管理系统包含：气体再生装置，其与多个准分子激光装置连接，将从多个准分子激光装置排出的激光气体再生为再生气体，向多个准分子激光装置供给再生气体；以及控制部，其判定多个准分子激光装置各自的至少一个参数是否超过预先决定的范围，在至少一...

波长转换系统具有：A.第1非线性光学晶体，其被输入处于第1偏振状态且具有第1波长的第1脉冲激光和处于第2偏振状态且具有第2波长的第2脉冲激光，由此输出第1和频光以及第2脉冲激光，该第1和频光处于第2偏振状态且具有通过第1波长和第2波长的...

光学元件的移动装置具有：第1保持部，其保持第1光学元件；第2保持部，其保持第2光学元件，并具有相对于接近第1保持部的第1方向倾斜的倾斜面；引导部，其能够与第1方向平行地移动第2保持部；以及弹性部件，其被配置于第1保持部与第2保持部之间的...