本公开的一个观点的激光加工装置具有：载置台，其载置被加工物；光学系统，其将激光引导至被载置于载置台的被加工物；气体供给口，其向被加工物上的激光的照射区域的周边供给气体；气体回收口，其回收从气体供给口供给的气体；移动装置，其使被加工物上的...

光脉冲展宽器具备：分离光学元件，其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光；反射光学系统，其引导第一反射光，使其入射到分离光学元件的与第一面相反侧的第二面，保持部件，其配置在反射光学元件的背面侧，保持反射光学元件。

本实用新型实施例提供一种放电激励气体激光装置。通过在第1密封部件的大气侧设置第2密封部件，并且，向第1密封部件与第2密封部件之间的空间内导入惰性气体或氮气，这样，能够通过导入的惰性气体或氮气对该空间内的气体进行净化，防止了大气中的水分和...

激光气体再生装置对从至少一个ArF准分子激光装置排出的排出气体进行再生，并将再生气体供给到至少一个ArF准分子激光装置，该至少一个ArF准分子激光装置与第1激光气体供给源和第2激光气体供给源连接，第1激光气体供给源供给包含氩气、氖气和第...

准分子激光装置的激光腔具有：容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及密封部件，其被配置于所述第1部件与所述第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透...

本实用新型实施例提供一种气体激光装置，通过将第1端口朝向壳体的开口侧，将第2端口朝向背面侧，这样，在对气体供应部进行维护或维修时，维护或维修人员对需要更换的与第1端口连接的管道进行拆卸和更换，不对与不需要更换的第2端口连接的管道进行拆卸...

激光气体管理系统包含：气体再生装置，其与多个准分子激光装置连接，将从多个准分子激光装置排出的激光气体再生为再生气体，向多个准分子激光装置供给再生气体；以及控制部，其判定多个准分子激光装置各自的至少一个参数是否超过预先决定的范围，在至少一...

波长转换系统具有：A.第1非线性光学晶体，其被输入处于第1偏振状态且具有第1波长的第1脉冲激光和处于第2偏振状态且具有第2波长的第2脉冲激光，由此输出第1和频光以及第2脉冲激光，该第1和频光处于第2偏振状态且具有通过第1波长和第2波长的...

光学元件的移动装置具有：第1保持部，其保持第1光学元件；第2保持部，其保持第2光学元件，并具有相对于接近第1保持部的第1方向倾斜的倾斜面；引导部，其能够与第1方向平行地移动第2保持部；以及弹性部件，其被配置于第1保持部与第2保持部之间的...

一种激光加工方法，对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工，其中，该激光加工方法具有以下步骤：A.定位步骤，以使转印位置成为在光轴方向上从透明材料的表面起以规定的深度ΔZsf进入透明材料的内部后的位置的方式对转印像的转印位置进行定位；B...

本公开的准分子激光装置具有：标准具分光器，其计测激光的条纹波形；以及控制器，其求出根据标准具分光器的计测结果得到的谱空间中的第1比例的面积，根据所求出的第1比例的面积计算激光的第1谱线宽度，并且，根据相关函数对第1谱线宽度进行校正，该相...

一种激光照射方法，对在半导体基板上形成杂质源膜而构成的被照射物照射脉冲激光，其中，该激光照射方法包含以下步骤：A.读入照射到被照射物上所设定的矩形的照射区域的脉冲激光的每一个脉冲的注量和照射到照射区域的照射脉冲数，其中，在对被照射物照射...

一种激光掺杂和后退火用的激光照射系统，其具有：A.激光装置，其产生紫外线区域的脉冲激光；B.载台，其使在半导体基板上形成至少包含作为掺杂剂的杂质元素的杂质源膜而构成的被照射物在至少1个扫描方向上移动；以及C.光学系统，其包含均束器，该均...

本公开的一个观点的激光照射系统具有：第1光学系统，其将第1激光变换为第2激光；多镜器件，其包含多个反射镜，能够控制多个反射镜的各个姿势角度，且该多镜器件通过对第2激光进行分割而向多个方向反射，生成分割后的多个激光；傅立叶变换光学系统，其...

本公开的准分子激光装置具有：腔，其在内部包含激光气体和一对电极，激光气体的气压根据对一对电极之间施加的电压被进行控制，由此生成进行脉冲振荡的激光；电源，其对一对电极之间施加电压；以及控制器，其输入激光的谱线宽度的目标值，在目标值从第1目...

一种激光加工方法，使用激光加工系统对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工，该激光加工系统具有：激光装置，其输出紫外线的脉冲激光；转印掩模，其形成有使脉冲激光透过的转印图案；以及转印光学系统，其对转印像进行转印，该转印像是通过使脉冲激光...

波长转换装置具有：A.晶体保持器，其对非线性晶体进行保持，该非线性晶体对所入射的激光进行波长转换而出射；B.第一容器，其收纳晶体保持器，包含入射窗口和出射窗口，其中，该入射窗口设置在向非线性晶体入射的激光的光路上，该出射窗口设置在从非线...

为了对具有第1电极和第2电极的电容器进行冷却，电容器的冷却构造包含：导电部，其与第1电极电连接；绝缘部，其具有包含第1位置的第1面和包含第2位置的第2面，在第1位置处与导电部连接；第1紧固部，其对导电部和绝缘部进行紧固；以及冷却部，其与...

本公开的数据分析装置具有：数据收集部，其从包含光源装置、曝光装置和晶片检查装置在内的多个装置分别取得各装置的分析对象的每个参数的数据，该曝光装置通过从光源装置输出的脉冲光对晶片进行曝光，该晶片检查装置进行由曝光装置曝光后的晶片的检查；图...

一种激光系统，其具有：A.固体激光装置，其输出脉冲激光，该脉冲激光的光强度分布是以光路轴为中心的旋转对称的高斯形状；B.放大器，其包含一对放电电极，并且在一对放电电极之间的放电空间中对脉冲激光进行放大；以及C.转换光学系统，其对从放大器...