本申请公开一种用于碳化硅化学气相沉积设备的液态源物质的鼓泡器，其包括：壳体，配置于所述壳体一侧开口部的盖板，所述壳体内配置有L型的载气部件、补液管及复数层间隔设置的隔板，所述隔板上设置有复数贯穿孔；所述载气部件包括：沿所述壳体的轴线设置...

本申请公开一种托盘组件及衬底支撑装置及外延生长设备。该托盘组件包括承载部、衬托、第一定位环及第二定位环，承载部的一侧配置有用于连接支撑筒的第一连接部；承载部远离第一连接部的一侧配置有卡接部。第一定位环，设置在卡接部的内缘，第二定位环设置...

本申请公开一种用于外延设备的观察装置及外延设备。该观察装置安装在外延设备腔体上，该观察装置包括：套筒、观察窗和隔热组件，观察窗设置在套筒远离腔体的一端；隔热组件包括装设在套筒内壁上的支架，支架上配置有多个安装部，每个安装部上均插接有石英...

本申请公开一种碳化硅外延生长方法及外延生长设备。该生长方法包括衬底原位刻蚀阶段、缓冲层生长阶段、漂移层生长阶段，通过衬底原位刻蚀阶段，以得到一个利于外延生长的纯净光滑的表面；在缓冲层生长阶段基于喷淋组件向反应腔内通入C/Si比介于0.9...

本申请公开一种碳化硅外延生长方法及设备，该生长方法包括衬底放置阶段、衬底原位刻蚀阶段、缓冲层生长阶段、漂移层生长阶段、衬底取出阶段。通过衬底原位刻蚀阶段，得到一个利于外延生长的纯净光滑表面；在缓冲层生长阶段基于喷淋组件向反应腔内通入含有...

本申请公开一种碳化硅外延生长方法。该方法包括：将衬底放入反应腔；基于第一加热器将反应腔的温度升高至第一预设温度，同时基于喷淋部件向反应腔内通入HCl气体及氢气、维持反应腔的压力至第一预设压力并持续第一预设时间，以衬底表面进行原位刻蚀；基...

本申请公开一种碳化硅外延设备，该碳化硅外延设备包括：壳体，壳体的顶部具有喷淋部件；隔离部件，其设于壳体内；内筒，其设置于壳体内；保温层，其设于内筒与所述隔离部件之间；至少一组加热组件，其设于内筒的外周壁与保温层的内壁之间；保温层包括依次...

本申请公开一种化学气相沉积设备用加热装置及化学气相沉积设备，包括第一加热部件

本申请公开一种阀芯组件及流量控制阀

本申请公开一种碳化硅外延设备及控制方法

本申请公开一种薄膜外延设备的气体吹扫系统及吹扫方法

本申请公开一种碳化硅外延设备用旋转装置。该碳化硅外延设备用旋转装置包括：支撑筒，该支撑筒内设置有气动悬浮组件，该气动悬浮组件上设置有抽气环和定位环，该气动悬浮组件包括底座，该底座上设置有分气盘和旋转载盘，该旋转载盘朝向所述底座的一侧的周...

本申请公开一种自锁夹紧装置及碳化硅外延设备。该自锁夹紧装置包括：待锁紧组件，所述待锁紧组件沿压紧方向上开设有通孔，所述待锁紧组件对应通孔位置处设置有锁紧调整块；驱动件，所述驱动件上连接设置有推杆，所述推杆穿设在所述通孔和所述锁紧调整块内...

本申请公开一种用于碳化硅外延设备的液态源物质鼓泡器及供气系统。该液态源物质鼓泡器包括：罐体，罐体的端部设置有端板，端板上配置有管道，罐体内设置有曝气管、补液管及复数层隔板，隔板间隔的配置于罐体，且隔板上设置有透气孔，曝气管连通第一管道并...

本申请公开一种红外测温系统、校正方法及碳化硅外延设备。该红外测温系统包括测温部件、光学器件以及导光部件，该测温部件包括聚光筒，其内设置有光探测器件及凸透镜，该聚光筒的一端具有开口部；该导光部件呈中空设置，其一端具有光入射口，与光入射口相...

本申请公开一种碳化硅外延设备用加热器定位治具及使用方法。该定位治具包括提手组件、底板、滚轮组件、支撑组件、支撑平台，电极定位块及压紧部件；底板上设置有底部定位块，底板上设置有安装孔，该支撑组件包括复数支撑杆，该支撑杆的侧端嵌入该安装孔，...

本申请公开一种碳化硅外延设备及控制方法，该碳化硅外延设备包括：成膜装置，其包括壳体及升降组件，该壳体的顶部侧设置喷淋部件，壳体上设置有用于供机械手进出的开口部，壳体内的底部侧设置有支撑部，支撑部经连接部连接至壳体底部外侧的第一驱动部，壳...

本申请公开一种气管连接组件及单晶薄膜设备。该气管连接组件，包括：第一盖板、第二盖板及密封圈，第一盖板上配置有复数第一孔及第二孔，所述第一孔用以匹配连接进气管，所述第二孔用以连接抽真空管，所述第二盖板上配置至少一开口槽，第二盖板上配置有复...

本申请公开一种碳化硅外延设备及加热控制方法，该加热控制方法包括：基于温度检测单元采样温度信息并反馈至数据处理单元，数据处理单元基于接收的温度信息经预设的算法运算生成第一指令并反馈至温度控制单元，温度控制单元基于接收的第一指令计算出匹配对...

本申请公开一种用于检测旋转石墨托盘平面度和同心度的测量装置。该测量装置，包括：X向调整杆、Y向调整杆、Z向调整杆及传感器，所述X向调整杆通过调整杆固定部件固定Y向调整杆，其用于放置于反应腔的顶部侧，所述Z向调整杆可滑动的固定于X向调整杆...