本申请公开一种用于气相生长装置的升降机构。该升降机构包括，旋转装置、固定座、摆动组件、摆动支架、导轨、支架及顶升部件，旋转装置固定于固定座的一侧，旋转装置的输出端连接摆动组件，且摆动组件设有第一连接端，所述第一连接端用于匹配穿入摆动支架...

本申请公开一种碳化硅沉积设备的石墨部件的修复方法。该修复方法用于修复石墨部件表面的碳化硅涂层，包括杂质去除阶段及涂层修复阶段，在杂质去除阶段，基于喷淋组件向反应腔内通入氢气，利用底部加热器或底部加热器与侧壁加热器的组合，将反应腔的温度升...

本申请公开一种用于碳化硅外延设备的TM腔的净化装置及设备。该空气循环净化装置包括：鼓风装置、空气过滤装置及管道检修阀，所述鼓风装置具有出风端及回风端；所述空气过滤装置具有输入端及输出端，所述鼓风装置的出风端经管道连接至所述空气过滤装置的...

本申请公开一种碳化硅外延生长装置及生长工艺方法。该生长装置包括：反应模块及旋转托盘组件，反应模块内设有反应腔，旋转托盘组件配置于反应腔的底部，旋转托盘组件包括：石墨托盘及旋转支撑部，石墨托盘上设有用于放置衬底的凹陷部，凹陷部内设有环状的...

本申请公开一种具有安全互锁逻辑的控制模块及碳化硅外延设备。该控制模块包括：数据采集模块，其实时的采集与其连接的子系统的信息；数据处理模块，其接收并响应数据采集模块的采样的信息，与预设的检查表中的参数比较，并输出与子系统对应的处理结果；这...

本申请公开一种碳化硅外延生长装置。该外延生长装置包括：气体供给系统，该气体供给系统包括：前端模块及后端模块，前端模块用以接入反应气体，前端模块的输出连接后端模块，后端模块的气路都配置有匹配对应至少一种反应气体类型的分支流路，每个分支流路...

本申请公开一种碳化硅外延生长装置。该碳化硅外延生长装置包括：反应模块，其内配置有反应腔；喷淋部组件，其配置于反应模块上，喷淋部组件包括多个独立的腔体，多个所述腔体分别经管道连接至用以提供气体的气源以及分别经出气通道连通反应腔，且所述出气...

本实用新型提供了一种适用于半导体传输系统中的装片机构，包括装片室，装片室内设置有装片腔，装片腔内设置有托片台，托片台通过升降气缸驱动连接；装片室上还设置有若干个通路，若干个通路上分别设置有用于通断的真空闸阀；装片腔内还设置有旋转平台，装...

本申请提出一种用于碳化硅外延薄膜生长的设备及其控制方法。该生长反应模块及拿取部件，生长反应模块包括：主体部，主体部内配置有反应腔，主体部的一侧具有开口部，开口部配置有喷淋组件，喷淋组件的进气侧通过匹配对应的管道连接至气体供给系统，反应腔...

本发明提供了一种半导体传输系统及其传输方法，半导体传输系统包括传输腔,以及与传输腔连接的若干个工序加工腔；若干个工序加工腔分别设置在传输腔的外围，且若干个工序加工腔通过真空闸阀与传输腔连接；若干个工序加工腔包括与传输腔连接的取片室、装片...

本实用新型公开了一种旋转装置，包括：具有反应腔的反应器；壳体，设置在反应器的底部，壳体包括容纳腔，容纳腔和反应腔相连通；旋转轴，绕自身轴线可转动地设置在壳体的容纳腔内，且旋转轴的一端伸至反应腔内；旋转盘，和旋转轴伸至反应腔的一端连接；石...

本实用新型公开了一种反应系统，包括：反应器，具有反应腔以及连通反应腔的进气口和抽气口；进气装置，设置在进气口，用于向反应腔供给反应气体；抽气系统，和抽气口连接，用于对反应腔内进行抽气；旋转装置，绕自身轴线可转动地设置在反应器上，旋转装置...

本实用新型公开了一种旋转装置，包括：具有反应腔的反应器；套筒，设置在反应器的底部，套筒包括容纳腔及连通容纳腔的进气口，容纳腔和反应腔相连通；旋转轴，绕自身轴线可转动地设置在套筒的容纳腔内且与套筒之间存在间隙，旋转轴的一端伸至反应腔内；支...

本实用新型公开了一种具有迷宫式密封结构的旋转装置，包括：具有反应腔的反应器、旋转轴、旋转盘、支撑筒、石墨托盘和加热组件，加热组件包括加热器、电极板和电极；密封板，设置在电极板的下端；其中，密封板与旋转盘之间形成第一迷宫密封结构，旋转盘与...

本实用新型公开了一种抽气装置，包括：反应器、石墨托盘、支撑筒、升降杆、升降板和外筒，外筒包括第一竖直段、倾斜段和第二竖直段，倾斜段的两端分别与第一竖直段和第二竖直段连接，第一竖直段的直径小于第二竖直段的直径，倾斜段沿水平方向和石墨托盘相...

本发明公开了一种具有迷宫式密封结构的旋转装置，包括：具有反应腔的反应器、旋转轴、旋转盘、支撑筒、石墨托盘和加热组件，加热组件包括加热器、电极板和电极；密封板，设置在电极板的下端；其中，密封板与旋转盘之间形成第一迷宫密封结构，旋转盘与反应...

本发明公开了一种抽气装置，包括：反应器、石墨托盘、支撑筒、升降杆、升降板和外筒，外筒包括第一竖直段、倾斜段和第二竖直段，倾斜段的两端分别与第一竖直段和第二竖直段连接，第一竖直段的直径小于第二竖直段的直径，倾斜段沿水平方向和石墨托盘相对设...

本发明公开了一种反应系统，包括：反应器，具有反应腔以及连通反应腔的进气口和抽气口；进气装置，设置在进气口，用于向反应腔供给反应气体；抽气系统，和抽气口连接，用于对反应腔内进行抽气；旋转装置，绕自身轴线可转动地设置在反应器上，旋转装置的一...

本发明公开了一种旋转装置，包括：具有反应腔的反应器；套筒，设置在反应器的底部，套筒包括容纳腔及连通容纳腔的进气口，容纳腔和反应腔相连通；旋转轴，绕自身轴线可转动地设置在套筒的容纳腔内且与套筒之间存在间隙，旋转轴的一端伸至反应腔内；支撑台...

本发明公开了一种旋转装置，包括：具有反应腔的反应器；壳体，设置在反应器的底部，壳体包括容纳腔，容纳腔和反应腔相连通；旋转轴，绕自身轴线可转动地设置在壳体的容纳腔内，且旋转轴的一端伸至反应腔内；旋转盘，和旋转轴伸至反应腔的一端连接；石墨托...