本发明公开了一种新型测量仪上下料装置及方法，包括底板和万向轮，所述底板上表面一侧固定连接立柱，所述立柱上方固定连接放置平台，所述放置平台一侧，位于底板上设有控制箱体，所述控制箱体上固定设有第一传输手臂，所述第一传输手臂远离放置平台的一侧...

本发明涉及一种纳米压印模板清洗除胶装置，包括除胶清洗箱体，所述除胶清洗箱体的上表面上固定设有固定玻璃，所述固定玻璃下方滑动连接移动玻璃窗，所述除胶清洗箱体一侧固定设有控制箱，所述除胶清洗箱体内部底面上固定连接分隔板，所述分隔板将除胶清洗...

本发明涉及一种简易手动Smif盒开合装置，包括承载台，其特征在于：所述承载台上表面四周设有限位块，所述承载台上设有Smif盒外壳固定柱，所述承载台中心位置处设有贯穿孔，所述贯穿孔中转动连接转动柱，所述转动柱的上表面固定设有Smif盒内部...

本发明公开了一种光路调整辅助分划板及装夹机构，包括分划板板体，所述分划板板体上均匀开设有用于便判读照射至分划板上光束的离轴位置的圆环形和圆形通光孔径，所述分划板板体的边缘设置有定位槽，装夹机构还包括夹具主体、定位孔以及用于限制分划板的装...

一种掩模版监测图形的布置方法，在掩膜版的四角设置包括7个模块的预定图形，第一模块包括分别在clear区和dark区放置的若干组十字形图形；第二模块包括设置在clear区的不同线条宽度的横竖线条组，同一线条宽度的横竖线条组的线条间距梯次配...

本实用新型公开了一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，包括底座，所述底座的中部开设有放置掩模版托盘的卡槽，其四周设有用于固定带膜掩模版的卡扣装置，所述卡扣装置依次包括螺栓、卡扣以及弹簧，所述底座上固定安装有框架，所述框架的下方设有拆膜卡爪，其...

本实用新型公开了一种多尺寸掩模曝光花篮，包括框体，框体的内壁两侧相对活动连接有若干U形槽，U形槽的内部等距转动连接有若干挤压辊，U形槽靠近框体内壁一侧活动连接有连接板，连接板远离U形槽一侧中部固定连接有传动杆，传动杆位于框体外部一端套设...

一种通用掩模量测容器，本体内壁开设有第一测量腔，第一测量腔成边长为15.3cm的正方形，每个第一测量腔的边长的中心设置有内凹的止挡角，止挡角为内凹直角，四个止挡角和对应面域的组合腔体形成第二测量腔，第二测量腔的边长为12.8cm，第一测...

本实用新型涉及一种多尺寸一体化通用掩模夹，包括手柄、开合柄和固定头，所述手柄与固定头之间设有尺寸调节组件，所述尺寸调节组件包括与手柄固定连接的第一主干和与固定头固定连接的第二主干，所述第一主干和第二主干内均开设有调节孔，所述调节孔内插接...

本发明涉及一种掩模版居中性检测方法及检测装置，在检测方法中，将掩膜版放在载物台上，由图像采集单元获取掩膜版图像，掩膜版图像上包括有设置于掩膜版上的特定标记图形；根据所述特定标记图形分别在X向和Y向上相对于掩膜版与载物台交界处的距离，确定...

本发明公开了一种方便上料的掩模涂胶装置及其上料方法，包括四个支撑柱，支撑柱的顶部之间固定连接有顶板，顶板的内部中间转动连接有限位框，限位框的内部中间固定连接有隔板，限位框上顶部与底部相互远离的一端两侧均固定连接有二号伺服电机，二号伺服电...

本发明公开了一种新型离子束修补机静电消除装置，该静电消除装置包括：真空紫外灯管，整体呈T型，并具有竖直部和水平部，其中竖直部的直径小于所述水平部的直径，该真空紫外灯管为中空状；支撑组件，设置在所述真空紫外灯管的底部，该支撑组件具有平移部...

一种新型FEI转换台装置，包括托盘基座，托盘基座顶部固定连接有固定支架，固定支架顶部设置有四根上下滑轨，四根上下滑轨上设置有顶杆，顶杆固定连接在方形铝合金板四角上，方形铝合金板顶部中间靠近顶杆一端固定连接有气缸，气缸一端通过气管连接有两...

本实用新型公开了一种铲除保护膜残胶工具，包括握把和铲片板，铲片板一侧设有铲胶刀片，铲片板远离铲胶刀片的一侧固定连接有连接头，握把与连接头插拔连接，握把顶部一侧固定连接有立柱，立柱顶部一端螺栓连接有风管，风管靠近铲片板的一端固定连接有加热...

本发明公开了一种吊筋生产用多筋切割装置，包括底板，底板的上方活动连接有加工台，底板的顶部一端相对固定连接有两个支撑架，支撑架的顶部与加工台转动连接，底板的顶部且远离支撑架的一端转动连接有一号电动伸缩杆，一号电动伸缩杆的输出端与加工台转动...

本实用新型公开了一种新型激光束修补机工作台，包括放置平台，放置平台的顶部开设有放置槽，放置槽的四角均固定连接有三角支撑板，放置槽的底部固定连接有四个L形限位条，放置槽的底部位于四个L形限位条之间设有三个支撑顶针，放置槽的外部镂空，本实用...

一种新型FEI转换台装置，包括托盘基座，托盘基座顶部固定连接有固定支架，固定支架顶部设置有四根上下滑轨，四根上下滑轨上设置有顶杆，顶杆固定连接在方形铝合金板四角上，方形铝合金板顶部中间靠近顶杆一端固定连接有气缸，气缸一端通过气管连接有两...

一种掩模工艺中新型转盘装置，包括转环，转环的正下方设立有两个滑轨，转环外壁均匀转动连接有三个辅助立柱，转环与滑轨相对的侧壁固定连接有从动齿轮，从动齿轮的一侧啮合连接有驱动齿轮，转环内放置有掩模，转环内壁固定连接有橡胶垫，本实用新型具有以...

本实用新型公开了一种新型MT270CD量测片架托盘，属于掩模制版技术领域，其技术方案要点包括呈阶梯状的片架托盘本体，片架托盘本体的上方从下至上依次设置有底层、中层和上层，底层、中层和上层的上端面均安装有四个含氟橡胶软管，底层、中层和上层...

本实用新型公开了一种掩模半自动拆模平台装置，包括底座，所述底座内放置有上料托盘，所述上料托盘内放置带有保护膜的掩模版，上料托盘上方设有两个支架，其中一个支架的两侧均设有拆膜棒，所述拆膜棒的两端均设有可调节的顶针；本装置针对于手动拆膜设计...