本实用新型提供了一种掩模工艺夹盘，其在支承台的外周设置便于插装的挡块，使得掩模基板的四角高度方向限位，从而使得掩模基板在高速旋转过程中不会脱离夹盘，确保掩模基板的安全。其包括其包括盘本体，所述盘本体的对应于掩模基板的四角位置设置有上凸的...

本发明公开了一种掩模工艺烘烤用托盘及夹具装置，包括托盘和夹具，所述托盘的形状为方形，且托盘的四个侧面均开设有圆孔，所述托盘的内部为掩模版，所述夹具的前端设置有卡扣，且夹具的底部设置有导杆，该导杆的数量为两组，所述夹具的下端设置有把手，且...

本发明公开了一种新型5寸掩模版贴膜工具，包括中央镂空的主体支架、定位兼导向块和压力杆，定位兼导向块分布于中央镂空的主体支架的四周，压力杆设置在主体支架四角上；所述压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应。主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的...

本发明公开了一种集成电路用相移掩模制造方法，依据客户设计的图形，将图形数据转换成掩模曝光设备能识别的格式，利用掩模曝光机曝光于附有感光材料的掩模基板，经显影刻蚀制程使其表面产生透光与不透光的逻辑图形的过程；依次包括以下步骤：第一次曝光、...

本发明公开了掩模去胶通用耐酸手臂，包括臂管，所述臂管底端表面开设有连接孔，所述连接孔顶端开设有贯穿孔,所述贯穿孔与臂管内壁相互贯通，所述连接孔内部顶端设置有第一密封垫，所述臂管底端设置有第一扇形喷头，所述第一扇形喷头顶端分别设置有加固环...

本发明利用半导体硅片加工工艺的思路，通过多层套刻方法完成高精度多台阶衍射光学元件表面浮雕结构图案的制作，突破了传统加工难题，能够实现微米级台阶尺寸纳米级台阶深度的衍射图案制作，可提升至纳米级及更多层的台阶制作，大幅提升衍射效率。

本发明公开了一种掩模工艺用多层上料盒，包括掩模工艺用上料盒盒体，所述掩模工艺用上料盒盒体的前表面设置有盒体挡片，且所述掩模工艺用上料盒盒体的内侧分别开设有两个下掩膜版放置腔和两个上掩膜版放置腔，每个所述下掩膜版放置腔均位于上掩膜版放置腔...

本发明公开了一种非球面检测高精度计算全息图的制作方法，包括以下步骤：S1、于掩模基板曝光蚀刻，完成相位型图案的制作；S2、带胶对相位型图案蚀刻石英玻璃，完成透射层的制作；S3、利用二次定位技术曝光蚀刻，完成振幅型图案反射层的制作；S4、...

本实用新型公开了一种通用掩模夹盘，包括外部夹盘和内部夹盘，外部夹盘内侧设有内部夹盘，外部夹盘底部四周均匀设有四个固定轴，外部夹盘通过底部的固定轴固定于内部夹盘的外侧，外部夹盘顶部均匀设有四个七寸版限位杆，内部夹盘上靠内侧均匀设有四个五寸...

本实用新型公开了一种通用掩模夹具，包括握把，握把内固定插接有收纳套筒，且收纳套筒端部处位于握把外部，收纳套筒设有两个，且每个收纳套筒内活动嵌设有伸缩杆，伸缩杆末端处固定安装有固定夹持接头，伸缩杆上活动嵌套有横移滑套，且横移滑套上固定安装...

本发明一种无损、高精度掩模图形的分层提取方法，读取灰度掩模图片时，将灰度空间设定相应的阈值GTH，将符合条件的像素点归一化灰度值为1，不符合条件的像素点归一化灰度值为0：将不同灰度的二进制文件转成GDSII版图数据格式时选择打平命令将其...

本实用新型公开了一种掩模工艺机台新型卡盘，包括底架，底架呈圆环状设置，底架上端面固定安装有两组托盘，两组托盘关于底架的环心做中心对称分布，两组托盘规格一致，底架两侧设有夹盘，两个夹盘一端均呈V字型设置，两个夹盘规格一致，且关于底架环心做...

本发明涉及微电子工艺的衍射微光学器件的加工方法，具体为一种高精度反射式DOE衍射器件，包括单晶硅基板(1)、多晶硅层(2)和光刻掩模版(3)，图案化所述多晶硅层以形成沟道区域，所述沟道区域的两侧包括对称设置的两个低掺杂区域，所述低掺杂区...

本实用新型提出一种固态溴气瓶装置，包括：隔热外壳，所述隔热外壳内限定有空腔；瓶体，所述瓶体设在所述空腔内，所述瓶体上具有伸出所述空腔外的出气管，所述出气管上设有减压阀；制冷系统，所述制冷系统设在所述空腔内以对所述瓶体进行制冷；温控器，所...

本实用新型公开了一种通用掩模版盒，包括掩模版盒上合盖，掩模版盒上合盖一侧设有掩模版存放盒，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒之间通过两个软铰链连接，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒上均设有5009掩模版限板，5009掩模版限板分别设置于掩模版盒上...

本实用新型公开了一种集成电路掩模版用新型多片盒，包括盒体、盒盖和减震条，盒体的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡头，盒盖的两个相对侧边上分别固定连接有一个卡口，盒体的内侧固定连接有四个限位块，四个限位块之间固定安装有塑胶垫，盒盖的内壁上...

本实用新型公开了一种便携式动力设备维修工具，所述圆形安装套管的中部设有螺孔，所述六角扳手的一端焊接有固定座，所述固定座的表面设有外螺纹，所述固定座的侧面中部设有螺栓，所述螺栓通过螺孔与圆形安装套管连接，所述圆形安装套管的表面套装有加固套...

本实用新型涉及一种新型MASK修补机上下料装置，包括活动板一，活动板二，夹具组件，所述的活动板一下方设有滑槽一，所述的滑槽一内安装有滑杆一，所述的滑杆一一端上设有安装块一，所述的差速器一与正反转电机一连接，所述的活动板一上方设有滑槽二，...

本发明公开了一种通用掩模夹盘，包括外部夹盘和内部夹盘，外部夹盘内侧设有内部夹盘，外部夹盘底部四周均匀设有四个固定轴，外部夹盘通过底部的固定轴固定于内部夹盘的外侧，外部夹盘顶部均匀设有四个七寸版限位杆，内部夹盘上靠内侧均匀设有四个五寸版限...

本发明公开了一种掩模工艺机台新型卡盘，包括底架，底架呈圆环状设置，底架上端面固定安装有两组托盘，两组托盘关于底架的环心做中心对称分布，两组托盘规格一致，底架两侧设有夹盘，两个夹盘一端均呈V字型设置，两个夹盘规格一致，且关于底架环心做中心...