本发明提出一种真空镀膜加工方式，依次通过步骤一、二、三、四，保证在满足对应层真空度后才进行镀膜，降低前次真空镀膜加工时对真空度的影响，保证了镀膜时的真空度要求，提高镀膜品质，通过对镀膜速率进行监控,当速率达到上限或无法检测到速率时设备停...

本技术公开了一种水冷旋转结构，包括：主腔体顶板、旋转导通组件、液冷降温组件。旋转导通组件固定装配在主腔体顶板的上方，旋转导通组件包括旋转转轴，旋转转轴的顶部固定连接有回转齿轮，旋转转轴的外侧套装有进液套管和出液套管，进液套管和出液套管与...

本技术公开了镀膜基板的冷却结构，包括：固定板、水冷机构和定位机构；水冷机构安装在固定板下方，水冷机构包括水冷盘，水冷盘上安装有进水管，进水管的一侧设置有出水管，水冷盘上开凿有输水槽，输水槽上固定有装载盘；定位机构安装在装载盘上，定位机构...

本发明提出一种溅射镀膜机的预清洁装置，包括腔体，晶圆取手升降机构的顶部一端连接有晶圆抬升托盘组件，首先将晶圆通过晶圆取手升降机构运载至基座，并且将晶圆取手升降机构降低至不影响晶圆托盘升降机构的运动，同时，晶圆托盘升降机构也是一个升降机构...

本技术公开了常温转运机构，包括：底部触手基座，底部触手基座上安装有触手主体，底部触手基座的上方设置有中部轨道基座，中部轨道基座上安装有一对中部轨道侧板，中部轨道基座的上方设置有顶部轨道基座，顶部轨道基座上安装有顶部轨道侧板，中部轨道基座...

本技术公开了蒸镀机用水冷穹顶，包括安装板，所述安装板的上端固定连接有安装座，所述安装板的上端转动连接有旋转筒，所述安装座的上端固定连接有与旋转筒相匹配的交换组件，所述交换组件内壁设置有多个凹槽，所述凹槽和旋转筒形成有交换腔，所述旋转筒内...

本技术公开了水冷结构，包括中空的水冷盘，所述水冷盘的内部具有装载盘，所述水冷盘的一端面上设置有用于循环冷液的进水管和出水管，所述水冷盘的侧壁上固定连接有多个换热翅片，多个换热翅片实现冷液在水冷盘内呈S形流动；所述换热翅片与水流的接触面上...

本技术公开了采样套管，包括晶振探头主体、保护机构；晶振探头主体上安装有一对晶振片，晶振探头主体侧壁设有滑槽；保护机构安装于晶振探头主体上，保护机构包括外壳，外壳上连接有凸出部，凸出部滑动设于滑槽内，外壳上安装有可调式采样套管，可调式采样...

本发明提出一种溅射镀膜机的加热腔的冷却装置，溅射镀膜机包括控制腔室壳体和加热腔壳体，控制腔室壳体内设有多个加热灯、反射罩、隔板，反射罩置于控制腔室壳体内且反射罩外圆通过连接板与加腔壳体的上部连接，加热灯均匀分布于反射罩内部并位于加热腔壳...

本发明提出一种扬尘颗粒缓冲系统，所述缓冲系统设于缓冲区，所述缓冲区与蒸镀工艺区连通，所述缓冲系统设置于缓冲区远离蒸镀工艺区的一侧的侧壁上，所述缓冲系统包括导流座，所述缓冲区的外侧壁连接有闷板，所述闷板的外侧连接电磁阀，闷板的内侧连接导流...

本技术提出一种局部蒸镀的夹具，包括基板和伞状支架，所述伞状支架设于基板的上方，所述基板的下方设有多个遮罩板，所述基板与遮罩板之间平铺夹持有待蒸镀的基材，所述遮罩板的两端与所述基板可拆卸连接，所述遮罩板上设有若干蒸镀槽，用于通过蒸镀槽进行...

本发明提出一种溅射镀膜机的真空腔室内的承托机构，包括加热腔体，当需要加工晶圆时，通过第二升降机构上升，托盘支柱穿过对应的第三通孔用于承接晶圆输送口进入的晶圆，随后，通过第二升降机构下降，将晶圆下落至晶圆加工托盘的上表面，通过第一升降机构...

本发明提出一种溅射镀膜机的真空装置，包括工艺腔体，晶圆升降机构通过第一通孔与工艺腔体连接，晶圆顶升组件通过第二通孔与工艺腔体连接，工艺腔体的一侧边设有晶圆输送口，另一侧设有真空泵水冷机构，真空泵水冷机构与工艺腔体之间设有真空闸阀机构，工...

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种可提高镀膜纯度的真空镀膜机，包括承载架，以及安装在承载架内的镀膜腔体，镀膜腔体呈倒圆锥形状结构设置；所述镀膜腔体的上方中部位置贯穿安装有旋转驱动杆，主安装杆的上方安装有无接触式传动组件，避免接触而产...

本发明提出一种应用于真空溅射镀膜的清洁辅助装置，包括工艺镀膜腔体，工艺镀膜腔体的一侧设有过渡腔体，工艺镀膜腔体的相邻过渡腔体一侧还设有晶圆或者遮板进出口，工艺镀膜腔体的底部设有工作气体输入通道，过渡腔体与工艺镀膜腔体连通，工艺镀膜腔体内...

本发明公开了一种近距离双电子束蒸发源结构，包括：机壳、蒸发坩埚、磁场导流组件、承托导磁组件。机壳内固定装配有一对蒸发坩埚。磁场导流组件包括多组第一导磁板和第二导磁板，多组第一导磁板与第二导磁板交错分布，多组第一导磁板与第二导磁板之间均布...

本发明公开了一种多规格适配的蒸镀机坩埚气密性检漏机构，包括检漏装置；还包括：所述检漏装置内部检漏腔体的后方与左右两侧均等距离贯通连接于检漏连接管的外端；其中，检漏装置内部的检漏腔体中设置有定位机构，且定位机构包含有定位平台；其中，检漏装...

本发明公开了一种双腔室蒸镀镀锅同步传动结构，包括：齿轮防着板、一对镀锅组件、单轴双齿轮驱动组件。镀锅组件包括镀锅，镀锅的外侧卡合装配有多组均匀分布的盖板，镀锅的外侧铰接有多组均匀分布的压条。单轴双齿轮驱动组件包括支架固定板，支架固定板固...

本发明公开了一种多工件同步检测式球形检漏治具，包括承载底座；所述承载底座的顶面中心位置处固定连接于支撑立柱的底端；还包括：所述承载底座的上方设置有检漏机构，且检漏机构包含有检漏球体，并且检漏球体的内部开设有检漏腔体；其中，支撑立柱的顶端...

本发明涉及PVD镀膜技术领域，具体为一种上腔体自冷却的PVD镀膜设备，包括镀膜主腔体，以及开设在镀膜主腔体右侧面内的进料口；镀膜主腔体的上方设置有上腔体组件，上腔体组件的上方安装有连接板；所述镀膜主腔体的的左侧安装有支撑架，所述储水腔的...