本申请提出一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构均设置于蒸镀腔...

为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的坩埚遮板机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板旁的防着板上...

本申请提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的辐射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便；所述真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，所述加热灯结构包括：竖杆、连接件、折弯件、和加热灯盒，竖杆的底部与真空...

本申请提供一种真空蒸镀机的防着板固定结构，结构简单，并且安装及拆卸方便；所述防着板固定结构包括防着板1和挂钩2，防着板1设置在真空蒸镀机的腔体内壁的内侧，挂钩2有多个，固定在真空蒸镀机的腔体内壁上，所述挂钩2包括杆体部21、凸出部22和...

本申请提供一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，真空蒸镀机的伞架治具1通过所述双保险连接结构2与真空蒸镀机的为伞架治具1提供驱动力的部件连接，伞架治具1包括伞架基架11和连接杆12，所述连接杆12固定在伞架基架11的中心的顶端，连接...

本申请提供一种真空蒸镀机的视窗结构，回转轴不漏气，使用寿命长，容易更换回转玻璃，不容易引起人体眼部的不适；所述真空蒸镀机的视窗结构，设置在真空蒸镀机的腔体门上，从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和防着板，防着板固定在腔...

为了解决如何提高蒸镀机内部的降温效果的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的水冷隔热机构，通过在蒸镀机的内壁的主阀腔上装有水冷隔热机构，水冷隔热机构包括：多片散热片，散热片上设有呈矩形列阵排列的通孔，多片散热片通过水冷管串联，水冷管的进水口与...

本申请提供一种具有双泵结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体与主阀连接，抽真空泵启动主腔体内的空气通过排气通口进入主阀，坩埚部内的蒸镀材料在镀膜时以散射角a并呈圆锥体形状向上蒸发，将镀锅上固定的被镀膜工件镀膜，所述抽真空泵有两个，以坩...

本申请提供一种无死角的视窗，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件，所述观察窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件设置在主腔体内并且与安装架连接...

本申请提供一种观察角度广的视窗，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述视窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，所述外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上...

本申请提供一种真空蒸镀机的修正板系统，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构，所述修正板结构包括：竖杆、与竖杆的下部连接并水平设置的横杆、位于横杆的前部并水平设置的柳叶形的修正叶，所述修正叶与横杆固定，横杆与竖杆固定...

本申请提供一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件、冷却水管和腔体固定件，所述冷却水管与探头固定件连接，所述腔体固定件用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主...

本申请提供一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件与安装架连接并位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件与腔体门内壁的垂直...

为了解决晶振探头内的晶振片被反复的污染而容易出现晶振频率不稳定的问题，导致晶振探头无法对靶材蒸发量进行准确的检测，致使基片的镀膜厚度不均匀的问题，本实用新型提出一种磁流体一体式晶振挡板切换机构，通过气缸带动磁流体旋转，磁流体旋转带动遮板...

本申请提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，从上到下包括：气缸、连轴器、第二中空套筒、电极固定件、探头晶振片固定件、和盖帽，所述连轴器与气缸和第一杆体固定，连轴器的外面套设有第一中空套筒，第一中空套筒的上端与气缸的壳体固定，下端与第二中...

本实用新型公开了一种专门用于真空镀膜设备内部加热烘烤用新型灯罩，包括灯罩本体外壳、夹具、押元、加热灯管、第二防着板和加热灯玻璃，本实用新型其优点为：本灯罩结构设计简单，便于拆卸，密封性好，选材合理，金属颗粒，薄膜沉积时的金属分子难以进入...

本申请提供一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，包括：PC、CPU、数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口、模拟信号输出端口、控制单元数字输入模块、模拟信号输入模块和数字信号输出模块，所述PC与CPU双向连接，CPU与数字信号...

本申请提出一种自动化的真空蒸镀方法，采用真空蒸镀机全自动化进行真空蒸镀，包括步骤：S1，采用粗抽泵对真空蒸镀机的腔室内进行抽真空；S2，关闭粗抽泵，采用精抽泵继续抽真空；S3，在S2抽真空的同时，真空蒸镀机的腔室内的加热灯开始预加热，去...

本实用新型公开了一种用于真空腔体内信号导通用密封接头，包括插针座、接头本体、转接头、锁紧螺母、插孔座、玻璃硅沙填充物、密封件和插针固定座主体，插针座与插针固定座主体相接，接头本体前端设有凹槽，插针座与插针固定座主体相接后嵌入至接头本体前...

本申请提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，从上到下包括：气缸、连轴器、第二中空套筒、电极固定件、探头晶振片固定件、和盖帽，所述连轴器与气缸和第一杆体固定，连轴器的外面套设有第一中空套筒，第一中空套筒的上端与气缸的壳体固定，下端与第二中...