本申请提供一种真空蒸镀机的易拆卸多穴坩埚，所述易拆卸多穴坩埚与真空蒸镀机的主腔体的底板连接，包括坩埚部、X偏转线圈、电子枪和两个Y偏转线圈，所述坩埚部内设置有多个坩埚，所述坩埚部的下表面固定有圆环形齿轮部，支撑轴的上部和下部均为圆柱形并...

本申请提供一种热电偶的安装支架结构，应用于真空蒸镀机，所述热电偶的安装支架结构包括一体式支架，热电偶的硬质中空圆柱体穿过一体式支架的中空部分，所述一体式支架从上到下包括：凹槽上部、圆环部和螺纹下部，所述螺纹下部穿过真空蒸镀机的主腔体板的...

本申请提供一种一体式的真空腔体结构，应用于真空蒸镀机，所述一体式的真空腔体结构包括：真空蒸镀机的主腔体、主阀和法兰，所述主腔体的后壁的下部具有一个排气通口，所述主阀与所述排气通口相对应的位置连接，主阀的内部设置有抽真空泵用于将主腔体和主...

本申请提供一种真空蒸镀机的闷板密封结构，闷板的上表面固定有连接杆，连接杆的上端与气缸连接，气缸运动带动连接杆和闷板上下运动，其特征在于，所述闷板密封结构包括密封槽和密封圈，密封槽设置在闷板的下表面内，密封槽为圆环形，密封圈设置在密封槽内...

本申请提供一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，所述镀锅轨道保护结构位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道的下方，镀锅轨道保护结构和镀锅圆环形轨道均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道进行自转...

本申请提供一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件、冷却水管和腔体固定件，所述冷却水管与探头固定件连接，所述腔体固定件用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主...

为了解决使得离子源能够适应各种不同的基板达到离子源辅助沉积技术最佳的效果的问题，本实用新型提出一种可调角度的蒸镀机离子源装置，离子源通过底架的升降柱或者更换底架调节在蒸镀机本体底板上部的上下距离，通过第一折杆与第三折杆通过螺母或者螺栓可...

为了解决伞状治具取出时不易取出的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的公转伞架结构，通过键使得驱动机构带动第一法兰转动从而带动第二法兰转动，最终带动伞架转动，伞架的转轴与第二法兰的连接件为卡接，无需螺丝或者螺母固定，拆装方便，转轴的远离连接件...

为了解决现有驱动轴上的限位杆是通过在驱动轴的一端打一通孔，将限位杆穿过通孔后与轴承的花键槽卡接的，该限位杆由于长期的工作容易松动，脱落，且强度不够，容易使得伞架自转出现故障的问题，本实用新型提出一种新型镀锅驱动轴，限位杆通过与转动轴过盈...

为了解决急需一种既可以密封又可以长期使用不泄露的技术来改变现状的问题，本实用新型提出一种磁流体一体式坩埚旋转机构，包括：蒸镀机内腔底板、坩埚、磁流体、电机、联轴器、齿轮轴、第一齿轮、第二齿轮，在坩埚内部设有敞口的多个反应腔，每个反应腔装...

本申请提供一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，包括：PC、CPU、数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口、模拟信号输出端口、控制单元数字输入模块、模拟信号输入模块和数字信号输出模块，所述PC与CPU双向连接，CPU与数字信号...

为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型提出一种磁流体一体式源挡板开闭机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板的轴杆...

为了解决现有的被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板，这种镀膜修正板不能适用多种被镀件，通用性差的问题，本实用新型提出一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，由于第一支架和第二支架与真空腔体的内壁可拆卸连接、第一修正板和第二修正板可拆...

本申请提供一种新型真空蒸镀机的视窗结构，从腔体门外部向内部的方向依次包括外层玻璃、回转玻璃和防着板，防着板固定在腔体门的内侧壁上，外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴，回转轴与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴同步旋转，防...

为了解决如何提高真空镀膜的问题，本实用新型提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸...

本申请提供一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，包括：固定件、中空板、侧连接件、和圆轨道，所述固定件与真空蒸镀机的腔室上方的旋转驱动件连接，固定件与中空板固定，侧连接件与中空板和圆轨道连接，圆轨道与真空蒸镀机的腔室的面板固定，固定件包括中...

本申请提出一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构均设置于蒸镀腔...

为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的坩埚遮板机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板旁的防着板上...

本申请提供一种真空蒸镀机的加热灯结构，能够调整加热灯的辐射角度，使腔体内的温度均匀，并且安装及拆卸方便；所述真空蒸镀机的加热灯结构，设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上，所述加热灯结构包括：竖杆、连接件、折弯件、和加热灯盒，竖杆的底部与真空...

本申请提供一种真空蒸镀机的防着板固定结构，结构简单，并且安装及拆卸方便；所述防着板固定结构包括防着板1和挂钩2，防着板1设置在真空蒸镀机的腔体内壁的内侧，挂钩2有多个，固定在真空蒸镀机的腔体内壁上，所述挂钩2包括杆体部21、凸出部22和...