本申请公开一种翻转机构，包括：承载板，具有用于承载产品的承载面；所述承载面设有用于容纳所述产品的容纳槽；设置于所述承载面上的盖板，所述盖板设有供所述产品通过的通孔；所述盖板具有所述通孔和容纳槽对齐的第一位置和所述通孔与容纳槽错开的第二位...

本技术公开了一种晶圆承载装置，属于半导体检测领域，其包括：旋转台，包括转盘和转轴组件，旋转台内部形成有气路结构，转盘顶面开设有与气路结构连通的释放口；夹持组件，设置在转盘上，且包括至少一可移至夹紧状态或松开状态的活动夹持件；传动组件，包...

本技术公开了一种晶圆检测的承载治具，属于半导体检测领域，其设置在转盘上，所述承载治具包括：基座，设置在所述转盘上，所述基座数量有多个，且沿着所述转盘的周向均匀分布；承载件，与所述基座可拆卸连接，所述承载件数量有多个，且与所述基座一一对应...

本技术公开了一种晶圆夹持旋转机构，属于半导体检测领域，其包括：旋转台，包括旋转本体和转盘；多个活动夹持件，与转盘相接，并可移至夹持状态或松开状态；顶升组件，设置在旋转本体上，且位于转盘下方；传动组件，包括传动杆和传动环，传动杆可沿着转盘...

本发明公开了一种晶圆的检测治具，所述晶圆的检测治具包括：基台；旋转主体，转动设于基台上，旋转主体呈圆环状；齿环，设于旋转主体的外周，且能够相对旋转主体转动；多个夹持臂，沿旋转主体的径向滑动设于旋转主体的顶部，且在旋转主体的周向上间隔分布...

本发明公开了一种用于晶圆检测的承载设备，属于半导体检测领域，其包括：旋转机构，包括旋转主体和转盘；夹持机构，包括设置在转盘上的活动夹持件和固定夹持件，活动夹持件和固定夹持件数量有多个，且沿着转盘的周向等间隔交替布置，每一活动夹持件均与一...

本申请公开一种压板组件，包括压板、第一安装板、第二安装板和驱动件。所述压板用于抵压工件的上表面。所述第一安装板与所述压板滑动连接。所述压板能相对于所述第一安装板沿第一方向移动。所述第二安装板与所述第一安装板滑动连接。所述第一安装板能相对...

本发明公开了一种晶圆的检测夹持设备，包括：承载基台，其上转动设有旋转主体；齿环，设于旋转主体上，齿环能够相对旋转主体转动；多个工作臂，设于旋转主体的顶部，多个工作臂在旋转主体的周向上间隔分布，且能够在旋转主体的径向上滑动；工作臂具有夹持...

本技术公开了一种晶圆的旋转治具，属于半导体检测领域，其包括：基座组件，包括基座和轴承，所述基座沿竖直方向贯通开设有安装孔，所述轴承同轴固定在所述安装孔中；旋转组件，包括旋转座和固定套设在所述旋转座外的传动环，所述旋转座穿设在所述轴承内，...

本技术公开了一种旋转吸附机构，属于半导体制造领域，其包括：轴套组件，其上、下端均向内凹陷形成有第一安装槽；轴承，固定在两第一安装槽中；吸附组件，包括转轴件和吸附台，转轴件设有凸缘，位于上方的轴承的内圈轴向限位在凸缘和第一安装槽之间；压环...

本技术公开了一种角度调节组件及具有其的检测设备，所述角度调节组件包括：侧基板；承载架，滑动设于侧基板上，所述承载架在所述侧基板上的滑动轨迹为一弧形线，所述承载架被配置为安装所述电子元器件；驱动结构，与所述承载架连接，用于驱使所述承载架沿...

本技术公开了一种晶圆治具，包括：载台，设有连接孔；旋转主体，转动设于连接孔处；多个执行臂，沿旋转主体的周向方向间隔分布于旋转主体的顶部，执行臂滑动设于旋转主体的径向上，执行臂具有朝向旋转主体的中心运动时的伸出状态和远离旋转主体的中心运动...

本发明公开了一种检测设备，用于检测晶圆，包括：工作台，其台面上设有避让口，所述避让口在上下方向上贯穿所述工作台的台面；承载治具，设于所述工作台上，且位于所述避让口的上方，所述承载治具被配置为支撑所述晶圆；相机，设于所述工作台上，且朝向所...

本发明公开了一种晶圆自动定位设备，属于半导体制造领域，其包括旋转装置，旋转装置包括：转轴机构，包括轴套组件、转轴、轴承和衬套，转轴同轴穿设于轴套组件中，轴承数量为两个，且分别同轴设置在轴套组件的上端和下端，轴承的外圈与轴套组件固定连接，...

本技术公开了一种晶圆移载组件，用于移载晶圆，包括：基板，设有第一通孔；多个夹持臂组件，设于所述基板上，且分布于所述第一通孔的外周；所述夹持臂组件至少包括用于支撑所述晶圆的承托块，多个所述夹持臂组件的承托块沿所述晶圆的圆周方向间隔分布，且...

本技术公开了一种超声波焊接复合设备，包括：输送线，用于输送层叠料带，所述层叠料带包括沿着所述输送线的输送方向间隔排布的多片极片和分别层叠在所述极片上下侧的上隔膜和下隔膜；超声波焊接机构，设置在所述输送线的输送路径上，且适于将所述极片周侧...

本技术公开了一种搬运装置，包括取放机构，所述取放机构包括：安装板；吸板组件，固定在所述安装板上，所述吸板组件包括吸附产品的吸附面；脱片结构，包括固定在所述安装板上的驱动件和与所述驱动件传动连接的抵持组件；其中，当所述吸附面远离所述产品时...

本申请公开一种翻转组件，包括：驱动件；沿一水平方向延伸的主动旋转轴，主动旋转轴的一端与移动端相连，移动端带动主动旋转轴以轴线为中心旋转，轴线为主动旋转轴的中心轴线；支撑座，包括沿水平方向间隔设置的第一竖板和第二竖板，第一竖板和第二竖板均...

本申请公开一种微调机构，涉及机械加工技术领域，包括：固定块；第一微调块，与所述固定块在第一方向上可滑动地连接；第二微调块，与所述第一微调块在第二方向上可滑动地连接；所述第二方向垂直于所述第一方向；所述第二微调块在所述第一方向上位于所述第...

本实用新型公开一种上料装置及自动化设备，该上料装置包括机架