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苏州光舵微纳科技股份有限公司专利技术
苏州光舵微纳科技股份有限公司共有54项专利
一种软膜替换及纳米压印一体设备制造技术
本实用新型公开了一种软膜替换及纳米压印一体设备,包括软膜复制工位;压印工位,若干个独立的压印工位用于进行纳米压印,压印工位与软膜复制工位之间设有载盘存放区、软膜存放区;层叠架,压印工位设为两排,层叠架与其中一排压印工位齐平,层叠架上具备...
一种软膜载盘搬运机构制造技术
本实用新型公开了一种软膜载盘搬运机构,包括真空吸笔,至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附;机械手,具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度,真空吸笔位于机械手上;空载盘存放区,用于竖向堆叠空载盘;软膜载盘存放区,用于竖向堆叠的已装...
一种软模板脱模机构制造技术
本发明公开一种软模板脱模机构,用于将软模板从母模板上脱离,其包括:机架;吸附盘,设置于机架上,在吸附盘的吸附面设有多个吸附嘴,多个吸附嘴与抽真空装置连接,吸附盘的吸附面为斜面。本发明一种软模板脱模机构结构简单,从边缘开始揭取软模板,不会...
一种软膜载盘搬运机构制造技术
本发明公开了一种软膜载盘搬运机构,包括真空吸笔,至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附;机械手,具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度,真空吸笔位于机械手上;空载盘存放区,用于竖向堆叠空载盘;软膜载盘存放区,用于竖向堆叠的已装配有...
一种软膜替换及纳米压印一体设备制造技术
本发明公开了一种软膜替换及纳米压印一体设备,包括软膜复制工位;压印工位,若干个独立的压印工位用于进行纳米压印,压印工位与软膜复制工位之间设有载盘存放区、软膜存放区;层叠架,压印工位设为两排,层叠架与其中一排压印工位齐平,层叠架上具备晶圆...
一种混胶机构制造技术
本发明公开了一种混胶机构,包括混合机构,具备混胶缸和位于混胶缸上方的第一点胶阀、第二点胶阀,第一点胶阀、第二点胶阀分别向混胶缸的上开口注入不同的胶水,混胶缸的内部还设有搅动机构;抽真空机构,具备真空发生器和密封盖,密封盖对混胶缸的上开口...
全自动量产型纳米压印装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种全自动量产型纳米压印装置,包括:底座,底座上设有导轨;多个纳米压印机构,纳米压印机构设置于底座上且分布于导轨长度方向的两侧;供料机构,包括料片供料机构和软膜板供料机构,料片供料机构和软膜板供料机构设置于底座上且位于导...
一种用于压印模板的真空沉积装置制造方法及图纸
本实用新型公开一种用于压印模板的真空沉积装置,其包括:壳体,在壳体上设有一密封空腔,压印模板放置于该密封空腔内,在壳体上设有与密封空腔连通的药品接口,气态的FDTS从该药品接口进入密封空腔内;抽真空组件,包括:与密封空腔连通的真空接口以...
一种过滤膜的制备方法技术
本发明公开一种过滤膜的制备方法,其包括以下步骤:1)涂胶,在基膜的表面涂覆一层均匀的压印胶,在基膜表面形成压印胶层;2)压印,压印模板下压,使得压印模板上凸出的纳米结构与压印胶层表面接触,在压印胶层表面形成相应的图形化纳米结构;3)刻蚀...
全自动量产型纳米压印装置制造方法及图纸
本发明公开了一种全自动量产型纳米压印装置,包括:底座,底座上设有导轨;多个纳米压印机构,纳米压印机构设置于底座上且分布于导轨长度方向的两侧;供料机构,包括料片供料机构和软膜板供料机构,料片供料机构和软膜板供料机构设置于底座上且位于导轨长...
一种用于压印模板的真空沉积装置制造方法及图纸
本发明公开一种用于压印模板的真空沉积装置,其包括:壳体,在壳体上设有一密封空腔,压印模板放置于该密封空腔内,在壳体上设有与密封空腔连通的药品接口,气态的FDTS从该药品接口进入密封空腔内;抽真空组件,包括:与密封空腔连通的真空接口以及与...
一种纳米压印复合模板的制备方法技术
本发明公开了一种纳米压印复合模板的制备方法,包括以下步骤:1)母板的制备;2)溶液的准备;3)纳米压印复合模板的制备。本发明的纳米压印复合模板的制备方法,将硫一烯点击化学和POSS氟化物的优势结合起来,与传统的PDMS软模板相比,该软模...
一种滚轮紫外线软压印装置制造方法及图纸
本实用新型公开一种大滚轮紫外线软压印装置,用于对衬底表面的压印胶进行压印,其包括:滚轮,在滚轮内部设有紫外线光源,且紫外线光源发出的紫外光能从滚轮射出;软膜模板,其设置于滚轮的外表面,且在软膜模板上设有压印图形,用于对衬底表面的压印胶进...
具有水冷机构的纳米热压印装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种具有水冷机构的纳米热压印装置,其包括:加热机构,其内设置有加热腔;水冷机构,其设置于加热机构的底部,水冷机构具有腔体,腔体内充有冷却液体,腔体的底部设置有制冷片,且腔体的内部还设置有将冷却液体抽到加热腔处的驱动单元。...
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