本申请提供一种用于微动台的运动机构及垂向三自由度微动台，涉及半导体加工设备的领域，其包括驱动件

本发明提供了一种光谱干涉可调的测量装置以及测量方法，属于光学干涉检测领域，方法包括接收从多个光源发出的入射光；将多个入射光进行合束；对入射光进行准直；将入射光分裂为参考光束和透射光束；将参考光束反射到分束单元；透射光束经移相器

本申请提供一种调节机构、调节装置及半导体精加工系统，包括：包括：放置台、固定框、调节组件、第一吸附组件和第二吸附组件。放置台具有放置面、底面和连接面。贯穿孔的侧壁用于和连接面对接。调节组件安装于活动腔内，调节组件具有用于对接底面的调节面...

本发明提供了一种微透镜阵列曝光装置以及微透镜阵列曝光方法，属于曝光机技术领域，装置包括照明系统、掩膜版、成像系统以及感光基板，成像系统具有第一成像镜头组和第二成像镜头组，第一成像镜头组和第二成像镜头组沿中间像面镜像对称，第一成像镜头组和...

本发明属于晶圆或芯片键合领域，具体涉及一种键合装置及一种双面对准方法，设置了双面对准测量系统，实现了晶圆与晶圆、芯片与芯片、芯片与晶圆的高精度对准，对水平偏移量和旋转角进行高精度补偿，消除了垂向运动引起的水平向误差，消除了对准系统光轴与...

本发明属于无掩模光刻技术领域，具体涉及用于高密度PCB、LCD和MEMS设计及制造的一种紫外光刻投影物镜。应用于混合或单色紫外光刻光源的投影，包括自物面至像面光轴一致的第一透镜组G1、孔径光阑、第二透镜组G2、第三透镜组G3和第四透镜组...

本申请提供一种表面形貌测量装置及方法、物体表面高度计算方法，应用于光学精密测量技术领域，包括：光纤F

本说明书实施例提供一种波纹管连接装置、设备压力测试系统及连接方法，装置包括波纹管本体，装置还包括安装于波纹管本体端部的紧固件和连接件，紧固件卡合于波纹管本体外部，紧固件与波纹管本体外壁紧密接触，连接件与紧固件之间紧密接触，连接件上开有与...

本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种对准、键合设备和方法，对准、键合装置包括上压盘、加压装置、双向测量系统、下压盘、垂向台及密封环，本发明基于一组设备，在完成基片光学对位后直接进行原位键合，省却了借助夹持治具进行的操作动作，大幅提...

本发明属于高精度测量技术领域，具体涉及一种非接触式辅助定位激光干涉测量系统，包括用于产生至少两种不同波长的单色光的光源、基于干涉远离测量面型的测量头以及基于干涉测量搭建的参考系组件。采用至少两种颜色的单色光作为干涉光，采用参考测量头以及...

本发明属于精密测量技术领域，具体涉及一种接触式辅助定位激光干涉测量系统，包括光源、测量头、运动组件及参考系组件；本发明可显著增大测量头的移动距离，实现大口径面形的测量，可实现非球面、台阶面、衍射面、自由曲面等特殊面形的形貌测量且测量结果...

本发明属于精密测量技术领域，具体涉及一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统，集成式干涉测量头包括两组集成在一起的干涉测量组件，一组进行对被测物体的形貌测量，另一组实现第一组的位置反馈，能够更好补偿机械移动误差；同时本发明采用一组PZT模...

本说明书实施例提供一种仿生点胶阀，包括：主阀体；设置于主阀体上的进胶部和出胶部；设置于主阀体内部的往复运动机构、联动机构和仿生舌状结构，仿生舌状结构设置于进胶部处，往复运动机构和仿生舌状结构之间通过联动机构相连接，往复运动机构通过联动机...

本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种基片坐标测量方法，引入一个已知坐标位置的基准标记版作为坐标系基准，通过传感器直接测量基片上的位置标识与基准标记版上基准位置标识的投影位置偏差，实现对基片上位置标识纳米级别、亚微米级别的坐标测量精...

本发明属于精密制造设备技术领域，具体涉及一种改善基板变形的支撑件，用于在精密刻蚀工艺时支撑所述基板，所述支撑件为环形支撑件，用于自所述基板的外围边缘部分支撑所述基板，与所述基板的接触部分设置有吸附部；所述吸附部用于消除所述基板放置在所述...

本发明提供了一种高精度设备中工作台位移误差测量及补偿的方法及装置，方法包括在移动载盘上设置至少3个非共线位移传感器，测量移动载盘到基准平台的投影距离，形成初始位置的虚拟平面A及运动中虚拟平面B；根据虚拟平面A和虚拟平面B计算移动载盘在非...

本发明提供了一种六自由度精密微动平台，包括固定底板、载盘、位姿调节结构，位姿调节结构位于固定底板与载盘之间，用于调节工件在X轴方向、和/或Y轴方向、和/或Z轴方向的位移，以及和/或调节工件的角度。位姿调节结构包括多层连接载板，且在固定底...

本发明属于光谱测量技术领域，具体涉及一种光谱共焦测量系统，采用透射光栅对镜头端所传输的光线进行分波段衍射，之后设置至少两组探测器通过采集正负两个级次的衍射信号，理论上可将接收端的光谱分辨率提高50％左右。如果采用1024(或者2048，...

本发明提供了一种镜片无应力调节装置，属于光学领域，具体包括镜座，中心设置有与镜片配合的容纳槽，所述镜座的侧面设置贯穿孔；多个垂向调整机构，可拆卸设置在所述容纳槽的边沿，用于调整所述镜片的竖直位置及姿态调节，包括位于所述镜片上方的垂向施压...

本发明的反光镜柔性调节装置，属于集成电路装备的技术领域，至少解决现有技术中安装反光镜的方式，致使反光镜的镜片中心易变动的技术问题。包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，...