本发明提供一种多维调节的晶圆升降机构，多维调节的晶圆升降机构包括升降杆、基准板、前后调节组件、调平组件与旋转组件，其中，基准板固定连接于升降杆的顶端，前后调节组件包括位于基准板上的前后位置调节板，调平组件包括位于前后位置调节板上的调平板...

本申请提供一种半导体供液装置及半导体清洗系统，通过供液设备和混液设备的设置，使用混合阀混合溶液以配备半导体晶圆清洗所需的清洗液，避免了现有技术中大体积的储存槽，有效提供了空间利用率，减小了半导体清洗设备的体积；同时，通过混合阀及流量计、...

本发明提供一种清洗装置，包括驱动机构、清洗臂及设置于清洗臂上的管道及若干个喷嘴；清洗臂横向置于工艺腔室内部，若干个喷嘴设置于清洗臂朝向工艺腔室顶板一侧的表面上，管道沿横向埋设于清洗臂内部并与所有喷嘴连通，且管道的一端为开口端以使外部介质...

本发明提供一种晶圆卡盘及半导体设备，包括壳体、卡爪齿轮结构、转盘、伸缩件、升降限位件及驱动件，该结构在满足对晶圆旋转操作的需求下，还可使得各卡爪同时进行夹持及同时进行释放操作；通过卡爪齿轮与转盘齿轮的齿牙啮合，在力矩传递旋转过程中，可降...

本发明提供一种晶圆卡盘及半导体设备，包括壳体、卡爪连杆结构、转盘、伸缩件、升降限位件及驱动件，该结构在满足对晶圆旋转操作的需求下，还可使得各卡爪同时进行夹持及同时进行释放操作；卡爪连杆结构中的滚轮与转盘中的转盘卡槽的安装位置单一，降低了...

本技术提供一种晶圆夹取装置，包括：夹取机构、调节机构及驱动机构，其中，夹取机构包括第一夹取部及第二夹取部；调节机构包括第一调节单元及第二调节单元，第一调节单元至少包括与第一夹取部连接的第一连接杆及与第一连接杆连接的第二连接杆，第二调节单...

本技术提供一种晶圆清洗装置，包括：进出料单元、晶圆存取单元、晶圆搬运单元及晶圆清洗单元，其中进出料单元用于输送装载有待清洗晶圆的晶圆盒及清洗后的晶圆的晶圆盒；晶圆存取单元位于进出料单元一侧并与其相邻设置，用于存储装载有待清洗晶圆的晶圆盒...

本发明提供一种半导体工艺装置，喷液管分别与第一球关节结构、第二球关节结构销轴连接，使喷液管出液口位置可调节；运动轴固定于固定框架下；旋转驱动结构的旋转定子部和旋转动子部可旋转连接，运动轴与旋转动子部固定连接；升降驱动结构的升降定子部与升...

本发明提供一种喷液管调节总成，包括管道活动腔、第一轴孔和第二轴孔、有第一固定结构的第一球关节结构、有第二固定结构的第二球关节结构和喷液管；喷液管贯穿管道活动腔销轴连接第一轴孔和第二轴孔，喷液管对应第一轴孔和第二轴孔的位置分别有第一球关节...

本技术提供一种晶圆暂存机构，通过槽体、提篮座及提篮的装配，可用以暂存晶圆，以有效提高晶圆加工效率，同时能够降低晶圆污染概率；呈Y状的晶圆卡槽可便于晶圆的放置；根据晶圆尺寸，可灵活替换提篮，扩大应用范围；通过调整提篮座可便捷的对提篮的位置...

本技术提供一种晶圆IPA干燥系统，通过与蒸汽发生器相连的气体质量流量计及液体质量流量计，可简化系统复杂度，实现精确控温控流量，获得高浓度、高均匀性的IPA蒸汽，以缩短晶圆干燥时间，提高晶圆质量，且可提高产能。

本申请提供一种半导体多腔清洗供液装置及半导体多腔清洗系统，供液装置包括壳体、供液管等。供液管置于壳体内并处于左右中间，包括送液管路和回液管路。送液管路由壳体底部穿入并延伸至顶部。回液管路与送液管路顶端连通，由壳体顶部延伸至底部并穿出。排...

本申请提供一种阀门和管路预清洗系统，包括溶液槽、主管路和若干条分支管路。其中，溶液槽包括加液端、出液端和回液端；以出液端的液体流向定义上游端和下游端。主管路上游端与出液端连通；主管路的上游端至下游端之间设置有循环泵、单向阀和干燥阀；单向...

本发明提供一种晶圆清洗检测方法、装置、服务器及可读存储介质，通过将晶圆承载机构关于清洗槽的第一图像与标准图像进行比对，可对晶圆承载机构的异常情况进行判定，获取符合要求的晶圆承载机构，从而可以避免晶圆在放置入晶圆承载机构时发生对位偏移等，...

本发明提供一种晶圆夹取装置，包括：固定机构、第一调节机构、驱动机构、第二调节机构、夹取机构及限位机构，其中第一调节机构设置于固定机构上，包括第一、第二调节单元，第一调节单元至少包括相连接的第一、第二连接杆，第二调节单元至少包括相连接的第...

本申请提供一种分液装置及清洗设备，分液装置，包括供清洗液流通的喷液管组，还至少包括：定位部，位于喷液管组的头部，用于约束喷液管组的安装位置和/或安装角度；支撑部，位于喷液管组的尾部，用于为喷液管组提供安装位；连接部，位于定位部与支撑部之...

本技术提供一种气流导流装置及单片式清洗机，该气流导流装置位于半导体设备内以进行气流导流，气流导流装置包括至少一气流导板，气流导板包括中心区域及环绕中心区域的外围区域，气流导板上包括垂向贯穿气流导板的多个间隔设置的中心气孔及多个间隔设置的...

本技术提供一种晶圆提篮搬运装置，采用无铁芯直线电机平移机构与升降机构协作，一套机构即可完成对晶圆提篮的升降及平移传输，可减少装置复杂性，提高传输效率；无铁芯直线电机平移机构洁净程度高、传输稳定性高、定位精度高，可适用于晶圆先进制程传输；...

本技术提供一种晶圆提篮，通过设置安装支架、边缘支撑梁及锁紧件，可使得边缘支撑梁进行倾斜角度的调节，从而可使晶圆提篮适用于不同尺寸的晶圆，扩大晶圆提篮的应用范围，且边缘支撑梁与安装支架可灵活更换，以降低成本；进一步的，将边缘支撑梁上的晶圆...

本发明提供一种半导体设备，包括晶圆存储槽、偏心门、固定支架及开门机构，其中，开门机构固定于固定支架上，包括驱动件、旋转件及偏心门连接件，偏心门连接件与偏心门及旋转件固定连接，且旋转件与驱动件旋转连接，在驱动件的作用下，旋转件带动偏心门连...