本技术提供一种晶圆IPA干燥系统，通过与蒸汽发生器相连的气体质量流量计及液体质量流量计，可简化系统复杂度，实现精确控温控流量，获得高浓度、高均匀性的IPA蒸汽，以缩短晶圆干燥时间，提高晶圆质量，且可提高产能。

本发明提供一种晶圆夹取装置，包括：固定机构、第一调节机构、驱动机构、第二调节机构、夹取机构及限位机构，其中第一调节机构设置于固定机构上，包括第一、第二调节单元，第一调节单元至少包括相连接的第一、第二连接杆，第二调节单元至少包括相连接的第...

本申请提供一种分液装置及清洗设备，分液装置，包括供清洗液流通的喷液管组，还至少包括：定位部，位于喷液管组的头部，用于约束喷液管组的安装位置和/或安装角度；支撑部，位于喷液管组的尾部，用于为喷液管组提供安装位；连接部，位于定位部与支撑部之...

本技术提供一种气流导流装置及单片式清洗机，该气流导流装置位于半导体设备内以进行气流导流，气流导流装置包括至少一气流导板，气流导板包括中心区域及环绕中心区域的外围区域，气流导板上包括垂向贯穿气流导板的多个间隔设置的中心气孔及多个间隔设置的...

本技术提供一种晶圆提篮搬运装置，采用无铁芯直线电机平移机构与升降机构协作，一套机构即可完成对晶圆提篮的升降及平移传输，可减少装置复杂性，提高传输效率；无铁芯直线电机平移机构洁净程度高、传输稳定性高、定位精度高，可适用于晶圆先进制程传输；...

本技术提供一种晶圆提篮，通过设置安装支架、边缘支撑梁及锁紧件，可使得边缘支撑梁进行倾斜角度的调节，从而可使晶圆提篮适用于不同尺寸的晶圆，扩大晶圆提篮的应用范围，且边缘支撑梁与安装支架可灵活更换，以降低成本；进一步的，将边缘支撑梁上的晶圆...

本发明提供一种半导体设备，包括晶圆存储槽、偏心门、固定支架及开门机构，其中，开门机构固定于固定支架上，包括驱动件、旋转件及偏心门连接件，偏心门连接件与偏心门及旋转件固定连接，且旋转件与驱动件旋转连接，在驱动件的作用下，旋转件带动偏心门连...

本技术提供一种慢提拉清洗设备包括花篮支架、底板、升降支撑结构及驱动机构，通过驱动机构的运行调节升降支撑结构中的第一支撑件与第二支撑件之间的夹角，以带动花篮支架上升或下降，由于慢提拉清洗设备中各部件均采用耐腐蚀和耐高温的材质，从而在对花篮...

本公开内容公开了一种用于传输晶圆的机械手，包括：第一手指，其第一端上设置有第一挡块和第二挡块；至少两个第二手指，其被设置在所述第一手指的两侧，所述至少两个第二手指分别包括设置在与所述第一端相对的第二端上的第三挡块和第四挡块；以及驱动装置...

本发明提供一种半导体工艺设备开门机构，包括驱动件、旋转件、支撑连接件、阻尼缓冲件及位置检测结构，通过驱动件提供运行动力，带动旋转件进行周向往复转动以调节门板的开关状态；通过与旋转件对应设置的阻尼缓冲件可减少刚性碰撞，降低噪音，同时提高机...

本公开内容公开了一种具有夹块的机械手及设备，所述机械手包括：第一手指，所述第一手指的第一端上设置有第一挡块

本公开内容涉及电镀装置和半导体处理设备，其中，所述电镀装置包括：包括电镀槽和解镀槽的槽体，电镀槽被构造用于容纳与第一电极组件电连接的电镀液并且解镀槽被构造用于容纳与第二电极组件电连接的解镀液；至少两个滚轮，其中的至少一个传输滚轮被设置在...

本公开内容涉及电镀装置和半导体处理设备，其中，所述电镀装置包括：槽体，所述槽体包括电镀槽和导电槽，其中，所述电镀槽被构造用于容纳与阳极组件电连接的电镀液并且所述导电槽被构造用于容纳与阴极组件电连接的导电液；滚轮，所述滚轮被设置在所述电镀...

本发明提供一种风车式阴极导电传动装置及水平电镀设备，通过在旋转式阴极导电棒的外围设置绝缘棒，可避免旋转式阴极导电棒与电镀液的接触，以及通过设置与绝缘棒连接的绝缘风车片，可避免导电线与电镀液的接触，从而使得仅与待电镀的太阳能光伏产品相接触...

本发明提供一种调节式晶圆搬运机构，通过连接板、调整板、支撑板、调节螺栓的设置，可实现对晶圆提篮在六个自由度上的调节，且结构简单稳定，便于操作，能够很好的实现晶圆提篮与生产设备的对准。生产设备的对准。生产设备的对准。

本发明提供一种半导体工艺设备及其升降密封门机构，通过固定板、门板、密封件及驱动件的设置，在进行开关门操作时，通过倾斜沟道及与密封件接触的引流沟槽，可有效防止工艺腔体内的液体和/或气体的流出；与工艺腔体接触的固定板及门板在选择如PVC材质...

本实用新型公开了用于晶圆的清洗装置以及半导体设备。其中，清洗装置具有晶圆传输区和晶圆清洗区，包括：晶圆存取装置，晶圆存取装置被构造用于将晶圆移入与所述晶圆清洗区相邻的晶圆传输区或者将晶圆移出所述晶圆传输区，其中，晶圆存取装置用于移入晶圆...

本实用新型公开了用于半导体处理设备的传输装置，所述半导体处理设备包括至少两层处于不同高度的工艺腔体，所述传输装置包括：主体；至少一个第一机械臂，所述第一机械臂被构造在所述主体上并且用于存取未经处理的晶圆；至少一个第二机械臂，所述第二机械...

本实用新型提供一种慢提拉清洗设备包括花篮支架及驱动机构，由于驱动机构设置于清洗槽的外部，花篮支架采用耐腐蚀和耐高温的材质，从而在对花篮进行升降调节的同时，可避免同步带断裂的现象，以降低产品损伤概率、提高生产效率；由于花篮支架具有运输开口...

本实用新型提供一种用于湿法处理工艺的除湿干燥装置、隧道式烘干机，通过在风机与第一加热器之间增加冷凝设备以及除湿设备，对空气中的水气提前去除，大大降低进入第一加热器的空气含水率，从而使得加热后的空气能够带走更多的水气，大大提升了干燥效率，...