本发明提供一种晶圆卡盘及半导体设备，包括壳体、卡爪连杆结构、转盘、伸缩件、升降限位件及驱动件，该结构在满足对晶圆旋转操作的需求下，还可使得各卡爪同时进行夹持及同时进行释放操作；卡爪连杆结构中的滚轮与转盘中的转盘卡槽的安装位置单一，降低了...

本技术提供一种晶圆夹取装置，包括：夹取机构、调节机构及驱动机构，其中，夹取机构包括第一夹取部及第二夹取部；调节机构包括第一调节单元及第二调节单元，第一调节单元至少包括与第一夹取部连接的第一连接杆及与第一连接杆连接的第二连接杆，第二调节单...

本技术提供一种晶圆清洗装置，包括：进出料单元、晶圆存取单元、晶圆搬运单元及晶圆清洗单元，其中进出料单元用于输送装载有待清洗晶圆的晶圆盒及清洗后的晶圆的晶圆盒；晶圆存取单元位于进出料单元一侧并与其相邻设置，用于存储装载有待清洗晶圆的晶圆盒...

本发明提供一种半导体工艺装置，喷液管分别与第一球关节结构、第二球关节结构销轴连接，使喷液管出液口位置可调节；运动轴固定于固定框架下；旋转驱动结构的旋转定子部和旋转动子部可旋转连接，运动轴与旋转动子部固定连接；升降驱动结构的升降定子部与升...

本发明提供一种喷液管调节总成，包括管道活动腔、第一轴孔和第二轴孔、有第一固定结构的第一球关节结构、有第二固定结构的第二球关节结构和喷液管；喷液管贯穿管道活动腔销轴连接第一轴孔和第二轴孔，喷液管对应第一轴孔和第二轴孔的位置分别有第一球关节...

本技术提供一种晶圆暂存机构，通过槽体、提篮座及提篮的装配，可用以暂存晶圆，以有效提高晶圆加工效率，同时能够降低晶圆污染概率；呈Y状的晶圆卡槽可便于晶圆的放置；根据晶圆尺寸，可灵活替换提篮，扩大应用范围；通过调整提篮座可便捷的对提篮的位置...

本技术提供一种晶圆IPA干燥系统，通过与蒸汽发生器相连的气体质量流量计及液体质量流量计，可简化系统复杂度，实现精确控温控流量，获得高浓度、高均匀性的IPA蒸汽，以缩短晶圆干燥时间，提高晶圆质量，且可提高产能。

本申请提供一种半导体多腔清洗供液装置及半导体多腔清洗系统，供液装置包括壳体、供液管等。供液管置于壳体内并处于左右中间，包括送液管路和回液管路。送液管路由壳体底部穿入并延伸至顶部。回液管路与送液管路顶端连通，由壳体顶部延伸至底部并穿出。排...

本申请提供一种阀门和管路预清洗系统，包括溶液槽、主管路和若干条分支管路。其中，溶液槽包括加液端、出液端和回液端；以出液端的液体流向定义上游端和下游端。主管路上游端与出液端连通；主管路的上游端至下游端之间设置有循环泵、单向阀和干燥阀；单向...

本发明提供一种晶圆清洗检测方法、装置、服务器及可读存储介质，通过将晶圆承载机构关于清洗槽的第一图像与标准图像进行比对，可对晶圆承载机构的异常情况进行判定，获取符合要求的晶圆承载机构，从而可以避免晶圆在放置入晶圆承载机构时发生对位偏移等，...

本发明提供一种晶圆夹取装置，包括：固定机构、第一调节机构、驱动机构、第二调节机构、夹取机构及限位机构，其中第一调节机构设置于固定机构上，包括第一、第二调节单元，第一调节单元至少包括相连接的第一、第二连接杆，第二调节单元至少包括相连接的第...

本申请提供一种分液装置及清洗设备，分液装置，包括供清洗液流通的喷液管组，还至少包括：定位部，位于喷液管组的头部，用于约束喷液管组的安装位置和/或安装角度；支撑部，位于喷液管组的尾部，用于为喷液管组提供安装位；连接部，位于定位部与支撑部之...

本技术提供一种气流导流装置及单片式清洗机，该气流导流装置位于半导体设备内以进行气流导流，气流导流装置包括至少一气流导板，气流导板包括中心区域及环绕中心区域的外围区域，气流导板上包括垂向贯穿气流导板的多个间隔设置的中心气孔及多个间隔设置的...

本技术提供一种晶圆提篮搬运装置，采用无铁芯直线电机平移机构与升降机构协作，一套机构即可完成对晶圆提篮的升降及平移传输，可减少装置复杂性，提高传输效率；无铁芯直线电机平移机构洁净程度高、传输稳定性高、定位精度高，可适用于晶圆先进制程传输；...

本技术提供一种晶圆提篮，通过设置安装支架、边缘支撑梁及锁紧件，可使得边缘支撑梁进行倾斜角度的调节，从而可使晶圆提篮适用于不同尺寸的晶圆，扩大晶圆提篮的应用范围，且边缘支撑梁与安装支架可灵活更换，以降低成本；进一步的，将边缘支撑梁上的晶圆...

本发明提供一种半导体设备，包括晶圆存储槽、偏心门、固定支架及开门机构，其中，开门机构固定于固定支架上，包括驱动件、旋转件及偏心门连接件，偏心门连接件与偏心门及旋转件固定连接，且旋转件与驱动件旋转连接，在驱动件的作用下，旋转件带动偏心门连...

本技术提供一种慢提拉清洗设备包括花篮支架、底板、升降支撑结构及驱动机构，通过驱动机构的运行调节升降支撑结构中的第一支撑件与第二支撑件之间的夹角，以带动花篮支架上升或下降，由于慢提拉清洗设备中各部件均采用耐腐蚀和耐高温的材质，从而在对花篮...

本公开内容公开了一种用于传输晶圆的机械手，包括：第一手指，其第一端上设置有第一挡块和第二挡块；至少两个第二手指，其被设置在所述第一手指的两侧，所述至少两个第二手指分别包括设置在与所述第一端相对的第二端上的第三挡块和第四挡块；以及驱动装置...

本发明提供一种半导体工艺设备开门机构，包括驱动件、旋转件、支撑连接件、阻尼缓冲件及位置检测结构，通过驱动件提供运行动力，带动旋转件进行周向往复转动以调节门板的开关状态；通过与旋转件对应设置的阻尼缓冲件可减少刚性碰撞，降低噪音，同时提高机...

本公开内容公开了一种具有夹块的机械手及设备，所述机械手包括：第一手指，所述第一手指的第一端上设置有第一挡块