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杭州谱析光晶半导体科技有限公司专利技术
杭州谱析光晶半导体科技有限公司共有108项专利
一种用于SiC VDMOSFET的高效热隔离结构制造技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种用于SiC VDMOSFET的高效热隔离结构,包括若干个相互并列的MOS元胞,所述MOS元胞包括衬底层、扩散层、P阱层以及N阱层;其中,若干个所述MOS元胞的底层欧姆连接有漏极,若干个所述MO...
一种高压碳化硅功率器件终端结构及其制备方法技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种高压碳化硅功率器件终端结构,包括由金属漏极、半导体外延层、源区金属源极、栅极金属以及结区金属源极构成,所述半导体外延层由衬底层、扩散层、有源区、主结以及多区结终端拓展结构组成,其中有源区包括有...
一种抗高温性能强的碳化硅半导体器件制造技术
本发明公开了一种抗高温性能强的碳化硅半导体器件,本发明涉及碳化硅半导体器件技术领域,包括漏极,漏极的上方设置有N+衬底,N+衬底的上方设置有N-漂移区,N-漂移区上设置有两个P阱区,两个P阱区内部均设置有N+有源区和波形缓冲区,两个P阱...
一种具有高功率和高温可靠性的SiC VDMOSFET结构制造技术
本发明公开了一种具有高功率和高温可靠性的SiC VDMOSFET结构,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,漏极的上方设置有N+衬底,N+衬底的上方设置有N-漂移区,SiO2钝化层位于栅氧层和栅极的上方,P阱区上设置有三组沟槽缓冲...
一种高压碳化硅功率MOSFET终端结构及其制备方法技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种高压碳化硅功率MOSFET终端结构,包括位于中间的MOS元胞结构和位于端部的终端结构,所述MOS元胞结构、终端结构均由漏极、金属源极和半导体外延层构成,其中,所述半导体外延层包括衬底层、扩散层...
一种稳态热阻的平板式半导体器件制造技术
本发明公开了一种稳态热阻的平板式半导体器件,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极金属层,漏极金属层的上方设置有衬底层,衬底层的上方设置有N+漂移区,N+漂移区的上方设置有半导体层,半导体层的上方两侧分别设置有导电接触层和导电金属层...
集成P型沟道的高可靠性碳化硅MOSFET器件制造技术
本发明公开了集成P型沟道的高可靠性碳化硅MOSFET器件,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,导电衬底层的上端中部设置有导电柱区,导电柱区的上方设置有栅极电极,栅极电极内设置有导电多晶碳化硅层,两个导电外延层的上方均设置有导电缓...
一种立式耐击穿的栅极介电层MOSFET器件制造技术
本发明公开了一种立式耐击穿的栅极介电层MOSFET器件,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极电极,漏极电极的上方设置有导电衬底层,导电衬底层的上端两侧均设置有导电外延层,导电衬底层的上端中部设置有导电柱区,导电柱区的上方设置有栅介...
一种具有接触插塞结构的VDMOSFET器件制造技术
本发明公开了一种具有接触插塞结构的VDMOSFET器件,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,漏极的上方设置有导电衬底层,导电衬底层的上端两侧均设置有导电外延层,导电衬底层的上端中部设置有导电柱区,导电柱区的上方均设置有绝缘层和栅...
一种能够减少寄生电荷量的SiC VDMOSFET结构制造技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种能够减少寄生电荷量的SiC VDMOSFET结构,包括若干个相互并列的MOS元胞结构,所述MOS元胞结构包括衬底层、扩散层、P体区以及N体区;其中,所述MOS元胞结构的底层欧姆连接有漏极;所述...
一种改善SiC VDMOSFET开关特性的新型结构制造技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种改善SiC VDMOSFET开关特性的新型结构,包括若干个相互并列的MOS元胞结构,所述MOS元胞结构包括衬底层、扩散层、P阱层以及N阱层,其中N阱层与扩散层之间有P阱层隔绝,单个所述MOS元...
一种含半绝缘区介质超结的MOS型功率半导体结构制造技术
本发明公开了一种含半绝缘区介质超结的MOS型功率半导体结构,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,漏极的上端设置有导电衬底层,导电衬底层的上端设置有导电外延层,导电外延层的上端设置有N-漂移区,N-漂移区的下端设置有屏蔽缓冲区,屏...
集成异质结二极管的平面栅碳化硅MOSFET器件制造技术
本发明公开了集成异质结二极管的平面栅碳化硅MOSFET器件,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极电极,漏极电极的上端设置有导电衬底层,导电衬底层的上端设置有导电外延层,导电外延层的上端设置有特征沟槽,特征沟槽的下端开有两组磁场缓冲...
一种降低脉冲电荷影响的MOS半导体器件制造技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种降低脉冲电荷影响的MOS半导体器件,包括由若干个MOS元胞构成的PMOSFET结构,所述PMOSFET结构包括漏极、源极以及每个MOS元胞表面嵌设的栅极;单个所述MOS元胞包括有衬底层、扩散层...
一种双栅极VDMOS器件制造技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种双栅极VDMOS器件,包括由若干个VDMOS元胞构成的VDMOS器件,其中两两VDMOS元胞之间的正面与正面、反面与反面相互排列;单个所述VDMOS元胞包括源极、漏极、栅极以及半导体外延层,其...
一种超结结构及其制造方法技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种超结结构,包括由若干个相互并列的MOS元胞构成,单个所述MOS元胞包括有漏极、上金属源极、栅极以及半导体外延层,所述栅极的表面设有栅氧化层;所述半导体外延层的内部通过离子注入形成有P阱层、N阱...
一种不同维度的半导体互连结构制造技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种不同维度的半导体互连结构,包括多个相互并列互连的MOS元胞结构,所述MOS元胞得底端表面欧姆连接有漏极,相邻所述MOS元胞之间共设有连结源极,所述MOS元胞的顶端表面欧姆连接有金属源极;所述连...
一种变掺杂U槽结构的VDMOSFET器件制造技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种变掺杂U槽结构的VDMOSFET器件,包括若干个相互并列的MOS元胞,所述MOS元胞包括有衬底层、扩散层、P体区以及N体区,其中单个所述MOS元胞的中间处蚀刻成型有沟槽,且沟槽的内部嵌设有栅极...
一种防护型耐高温半导体芯片制造技术
本发明公开了一种防护型耐高温半导体芯片,本发明涉及半导体功率器件技术领域,包括漏极,漏极的上端设置有N+衬底,N+衬底的上端设置有N‑外延层,N‑外延层的上端设置有N-漂移区,N-漂移区的下端设置有屏蔽缓冲区,屏蔽缓冲区的内部设置有屏蔽...
一种垂直型源极的碳化硅SiC VDMOSFET器件制造技术
本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种垂直型源极的碳化硅SiC VDMOSFET器件,包括若干个呈并列排列设计的MOS元胞结构,所述MOS元胞结构包括漏极、半导体基层、源极和栅极,所述半导体基层的中间表面区域开设有沟槽,且源极呈向...
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