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广东省科学院半导体研究所专利技术
广东省科学院半导体研究所共有223项专利
一种氮化镓器件制备方法及氮化镓器件技术
本发明实施例提供了一种氮化镓器件制备方法及氮化镓器件,涉及半导体技术领域。氮化镓器件由氮化镓器件制备方法制成,氮化镓器件制备方法包括提供一氮化镓预制器件,上述氮化镓预制器件包括层叠设置的沟道层与势垒层、P型氮化镓层;在远离沟道层一侧的势...
一种带隙基准电路制造技术
本申请提供了一种带隙基准电路,涉及集成电路技术领域,带隙基准电路包括:核心电路、负温度电流提取电路、高阶调制处理电路和输出电路。核心电路用于产生X点电压、无基极电流的正温度系数PTAT电流以及混合有基极电流的负温度系数CTAT电流。其中...
一种迟滞比较器电路及系统技术方案
本申请提供了一种迟滞比较器电路及系统,涉及集成电路技术领域,包括:差分比较模块、尾电流偏置模块、自适应分流模块和输出模块。尾电流偏置模块的输出端、差分比较模块的第一端口和自适应分流模块的第二端口均连接于第一节点,差分比较模块的第二端口与...
氮化镓功率电子器件制备方法和氮化镓功率电子器件技术
本发明提供一种氮化镓功率电子器件制备方法和氮化镓功率电子器件,涉及半导体技术领域。方法包括:在制备完成的器件的正面键合一加强板;由所述器件背面对所述器件的衬底全局进行减薄处理,以使所述衬底减薄至预设的厚度范围;在所述衬底的背面加工散热孔...
关键尺寸扫描电子显微镜图像处理方法及电子设备技术
本发明公开一种关键尺寸扫描电子显微镜图像处理方法及电子设备,方法包括采用预先训练好的图像处理模型对输入图像进行处理,得到优化图像;预先训练好的图像处理模型包括去噪分支和边缘增强分支,两个分支均基于U‑Net网络架构构成,去噪分支包括依次...
一种正余弦角度转码跟踪转换器及电子设备制造技术
本发明提出一种正余弦角度转码跟踪转换器及电子设备,跟踪模块根据外部输入的正弦电压和余弦电压进行跟踪处理,以向正余弦信号校正单元输出正弦编码和余弦编码;正余弦信号校正单元根据温度传感器传输的当前温度、正弦编码以及余弦编码生成正弦校正信号和...
一种微组装装置及系统制造方法及图纸
本发明提供一种微组装装置及系统,涉及电子器件领域。微组装装置包括控制模块、监测模块以及微组装组件,微组装组件包括一个目标平台、至少一个抓取平台,控制模块与目标平台、抓取平台的控制端连接;监测模块至少包括一个目标监测单元,目标监测单元与目...
UVLED的双层金属反射电极、UVLED及提高UVLED的光提取效率的方法技术
本发明公开一种UVLED的双层金属反射电极、UVLED及提高UVLED的光提取效率的方法,UVLED的双层金属反射电极包括第一金属反射层、介质层、接触层和第二金属反射层;其中,第二金属反射层、介质层和第一金属反射层沿外延方向排布,介质层...
一种氧化物薄膜晶体管器件和其制备方法以及相关设备技术
本申请提供一种氧化物薄膜晶体管器件和其制备方法以及相关设备,涉及半导体技术领域。本申请在衬底上依次制备第一电极层、绝缘层和第二电极层,使第二电极层和/或第一电极层与绝缘层间隔设置有氧化物层,并保证第二电极层、绝缘层和氧化物层侧面对齐,而...
一种视觉检测系统、方法以及设备技术方案
本发明的实施例提供了的一种视觉检测系统、方法以及设备,涉及图像采集技术领域。其中,视觉检测系统包括:图像采集模块、图像检测模块以及光学接杆组件。照明单元,用于为待测物提供至少一个预设照射方向的独立光源。采样单元,用于在预设采集位置处获取...
仿生复眼模板及其制备方法、高光提取效率的深紫外LED芯片的出光结构及其制备方法技术
本发明公开一种应用了仿生复眼结构的深紫外LED芯片出光结构及制备方法,方法包括在深紫外LED芯片的出光面表面涂覆一层纳米压印胶,以在所述出光面表面形成涂胶面;将仿生复眼模板压印在所述涂胶面上,待固化后剥离所述仿生复眼模板,以在深紫外LE...
基于蛾眼复合微纳结构的深紫外LED及其制作方法技术
本申请公开了一种基于蛾眼复合微纳结构的深紫外LED及其制作方法,涉及半导体技术领域。本申请实施例提供的基于蛾眼复合微纳结构的深紫外LED,包括依次层叠设置的n型AlGaN层、多量子阱层、电子阻挡层、p型AlGaN层、p型GaN层,以及分...
高效深紫外发光结构制备方法技术
本发明公开一种高效深紫外发光结构制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在具有一定斜切角的衬底上制备AlN层,并控制AlN层的表面不形成宏台阶表面形貌,以得到第一晶片;将第一晶片进行高温热退火,得到退火晶片;对退火晶片上的AlN层进行图形化...
储能陶瓷材料及其制备方法以及高储能密度陶瓷电容器电介质的制备方法技术
本发明公开一种储能陶瓷材料及其制备方法以及高储能密度陶瓷电容器电介质的制备方法,其中,储能陶瓷材料的通式为(1‑y)(Bi<subgt;0.5</subgt;Na<subgt;0.5</subgt;)<su...
电平移位器、半桥转换电路和电子设备制造技术
本发明涉及电子技术领域,提供一种电平移位器、半桥转换电路和电子设备,电平移位器包括输入模块、共模电流抑制模块和输出模块;共模电流抑制模块的第一端和第二端与输入模块电连接,共模电流抑制模块的第三端和第四端与输出模块电连接;输入模块用于根据...
铌酸钠基储能陶瓷材料及其制备方法与应用技术
本发明公开一种铌酸钠基储能陶瓷材料及其制备方法与应用,其中,该铌酸钠基储能陶瓷材料的通式为(1‑x)(0.85NaNbO<subgt;3</subgt;‑0.15A<subgt;0.1</subgt;D<s...
可剥离深紫外LED芯片结构及其制备方法和剥离方法及深紫外LED薄膜芯片技术
本发明公开一种可剥离深紫外LED芯片结构及其制备方法和剥离方法及深紫外LED薄膜芯片,其中,可剥离深紫外LED芯片结构在衬底模板和有源区之间设置有牺牲层和AlN阻挡层,且牺牲层位于衬底模板与AlN阻挡层之间。由于Si掺杂AlN的激活能很...
组合导航的定位信息融合方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸
本发明提供了一种组合导航的定位信息融合方法、装置、电子设备及存储介质,涉及组合导航领域。本发明在强跟踪无迹卡尔曼滤波算法的基础上,通过计算当前激变参数来确定自适应因子,从而在计算滤波增益时利用自适应因子来调节测量噪声的协方差矩阵,由于当...
一种圆形肖特基势垒薄膜晶体管及其制备方法技术
本申请提供一种圆形肖特基势垒薄膜晶体管及其制备方法,涉及半导体技术领域。本申请通过在基底上依次制备圆形化栅极层、栅介质层、圆形化半导体层、圆环化势垒调控层、边界轮廓圆形化的源极层、钝化层、漏极走线层和与源极层电性连接的源极走线层,其中,...
一种肖特基势垒氧化物薄膜晶体管及其制备方法技术
本申请提供一种肖特基势垒氧化物薄膜晶体管及其制备方法,涉及半导体技术领域。本申请在基底上依次制备图形化栅极层、栅介质层、图形化半导体层、图形化扩散阻挡层、图形化功函调控层和图形化源极层,其中扩散阻挡层在基底上的投影区域处于半导体层在基底...
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