本技术公开了一种飞秒激光加工用五轴运动台，包括由下至上依次叠层组装的Z轴运动组件、XY轴运动组件和AC轴运动组件；所述Z轴运动组件设置有Z轴底座，所述Z轴底座的顶部通过丝杠组件横向滑动连接有楔形滑台，所述楔形滑台的顶部斜面滑动连接有两个...

本技术公开了一种高精度大负载AC轴，包括：A轴组件，其包括：两个A轴力矩电机，其水平同轴且相对设置；固定组件，其与每个A轴力矩电机的定子连接；C轴组件，其包括：C轴力矩电机，其竖直设于两个A轴力矩电机中间，C轴壳体，其套设在C轴力矩电机...

本发明公开了一种超精密电火花加工用运动台，包括：支架模块，其包括水平设置的水平基座和龙门型支架；X轴运动模块，其包括X轴基座和沿X轴方向往复运动的X轴滑台组件；Y轴运动模块，其包括Y轴基座和沿Y轴方向运动的Y轴滑台组件，所述Y轴滑台组件...

本发明公开了一种用于光刻机的移入移出装置，包括：基座；气垫组件包括：气垫套，其底面上设有圆形凹槽，气垫套固设在基座的底面上；气垫芯，其设置在气垫套的圆形凹槽内，在气垫芯底面上设有多个气嘴口，在气垫芯的内部设有气路通道，多个气嘴口均与气路...

本技术公开了一种大通孔精密气浮转台，包括：固定件，其中间设置有安装孔；驱动电机，其同轴插设在所述安装孔处，所述驱动电机的电机定子与所述固定件连接；转动件，其底部插设在所述安装孔内并与所述驱动电机的电机动子的顶部连接、顶部与所述固定件转动...

本技术公开了一种长跨距防护结构，包括防护钢板，其为长条状薄钢带，所述防护钢板两端受拉成紧绷状态；两个对称竖立设置的固定立板，所述固定立板的表面开设有条型孔，固定立板的顶部连接有固定端板，所述防护钢板置于两个固定立板之间，防护钢板两侧分别...

本技术公开了一种用于飞秒激光加工的三轴高精度运动平台，包括：平台基座，其沿水平方向设置；X轴组件，其沿水平方向设置在平台基座上，X轴组件包括沿着水平方向设置的X轴导轨、可沿X轴导轨移动的X轴负载板、设置于X轴负载板下方并驱动X轴负载板进...

本发明公开了一种直驱高精度卧式转台，包括：芯轴，其设置有芯轴中央腔；第一和第二主壳体，各自分别套设于芯轴的前端和后端；直驱电机，设置在第二主壳体内，具有电机轴，一端与芯轴的后端连接，另一端套装有圆光栅；读数头，设置在第二主壳体内，实时读...

本发明公开了一种晶圆承载装置，包括由下至上依次设置的第一驱动件、第一负载板、第二驱动件、第二负载板、真空吸盘，还包括至少两根竖直的接片柱；第三驱动件，其设在所述第一负载板上且位于所述第二驱动件下方；其中，所述第二驱动件、所述第二负载板、...

本发明公开了一种高精度大负载AC轴，包括：A轴组件，其包括：两个A轴力矩电机，其水平同轴且相对设置；固定组件，其与每个A轴力矩电机的定子连接；C轴组件，其包括：C轴力矩电机，其竖直设于两个A轴力矩电机中间，C轴壳体，其套设在C轴力矩电机...

本实用新型公开了一种高精度龙门运动台，包括基座；龙门支撑组件，其包括设置于所述基座两侧的侧立柱，两侧立柱的顶端分别设置有导轨；横梁轴组件，所述横梁轴组件包括横梁轴、分别连接于横梁轴两端的两支撑块组件及滑设于所述横梁轴上的横梁滑台，两支撑...

本实用新型公开了一种高精度二维运动台，其特征在于，包括：底轴基座；底轴负载板，其两端分别通过一个第一交叉滚柱导轨滑动设于所述底轴基座的顶部，任一第一交叉滚柱导轨包括固设于所述底轴基座上的第一固定导轨，以及固设于所述底轴负载板上的第一滑动...

本实用新型公开了三轴中空精密运动台，包括：基座，其上设置有放待检测物质的区域，基座沿水平方向设置；三轴运动平台，其设置在基座上，三轴运动平台包括可沿水平面内相互垂直的两个方向移动的XY轴运动平台和可沿竖直方向移动的Z轴运动平台，其中，X...

本实用新型公开了一种超薄开式气浮转台，包括固定件、同轴转动搭设在所述固定件上的转动件；所述固定件上设有朝向所述转动件顶部的轴向气孔、朝向所述转动件侧壁的径向气孔、与所述轴向气孔或所述径向气孔连通的进气孔，所述径向气孔与所述轴向气孔连通；...

本实用新型公开了一种高精度垂直运动气浮台，包括气浮直线台，所述气浮直线台包括气浮导轨及套设于气浮导轨之上的滑台，所述气浮直线台采用直线电机驱动，其特征在于，还包括固定座、气缸，所述气浮直线台竖直安装于固定座装载面上，使滑台在竖直方向上下...

本实用新型提供了一种垂直升降运动台，包括：底座，其水平设置，底座上设置有轴承座；导轨安装座，其与底座连接，导轨安装座上平行设置有三条导轨，导轨与所述底座垂直，每条导轨上均设置有两个滑块；滚珠丝杆机构，其包括滚珠丝杆和丝杆母，丝杆母套设在...

本实用新型提供了一种竖直大行程偏摆运动台，包括：第一导轨、第二导轨，其竖直且平行设置在竖直钢架的内壁上；第一承载板，其三个侧边分别与位于同侧的第一导轨和第二导轨滑动连接；第二承载板，其三个侧边分别与位于同侧的第一导轨和第二导轨滑动连接。...

本实用新型公开了一种六自由度微动平台，包括：微动板，其水平设置，微动板包括平板，平板的外侧由内到外依次套设有内框体、中框体和外框体；负载板，其水平放置在平板上，负载板与平板转动连接；平升摆动组件，其包括三个第一伸缩件，三个第一伸缩件竖直...

本实用新型公开了一种高精度气浮转台，包括固定部件及转动部件，所述转动部件可转动套设于固定部件中部，且与固定部件同轴；所述固定部件上设置有轴向气孔及多层径向气孔，所述固定部件上还设置有与轴向气孔和/或径向气孔连通的进气孔，以使进气孔通气后...

本实用新型公开了一种侧挂垂向运动气浮直线台，包括：基座；滑台，其可移动设置在基座上，基座和滑台间设有间隙，滑台两侧与基座磁性相吸，滑台上设置有进气口，滑台上间隙对应处设置有多个与进气口连通的出气口；一对气缸，其分别设置在滑台的两侧，气缸...