本实用新型公开了一种高精度龙门气浮平台，包括：两个龙门导轨，其相对且平行设置，任一龙门导轨上设有与其滑动连接的龙门气浮组件；横梁导轨，其固设于两个龙门气浮组件之间，横梁导轨上设有与其滑动连接的横梁气浮组件；其中，龙门气浮组件和横梁气浮组...

本实用新型公开了大负载精密气浮直线平台，包括：基座，其上相对设有平行的气浮导轨；滑台组件，其滑动设置于所述气浮导轨上，所述滑台组件两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述气浮导轨的侧壁，所述滑台组件底部设有多个小孔...

本实用新型公开了一种精密气浮直线平台，包括：基座；气浮滑台，其滑设于基座上，气浮滑台与基座之间设有间隙，气浮滑台的两侧与基座的底部的两侧磁性相吸；气浮滑台的外壁上设有进气口，内壁上设有多个出气口，任一出气口与进气口连通；基座的沿其宽度方...

本实用新型公开了一种横梁气浮滑台，包括：横梁导轨；滑块，其内部设有贯穿其两端的穿孔，滑块通过穿孔套设在横梁导轨上，穿孔的内壁沿其周向安装有多个气浮块，任一气浮块连通有输气管，多个气浮块与横梁导轨之间留有使空气流通的间隙，其中，滑块通过电...

本实用新型公开了一种大负载二维精密气浮平台，包括由上至下垂直设置的上轴气浮直线平台、底轴气浮直线平台，所述底轴气浮直线平台包括底轴气浮导轨以及滑动设于所述底轴气浮导轨上的底轴负载板，所述底轴负载板顶部平行设有一对安装台，一对安装台的上顶...