下载一种功分比可调PLC型光功分器及制备方法和调节方法的技术资料

文档序号:9990455

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本发明公开了一种功分比可调PLC型光功分器,采用平面光波光路PLC芯片,平面光波光路PLC芯片包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、波导、覆盖层,以及刻蚀在覆盖层上的2n+1-2个电极,波导包括n级分路结构,第i级分路结构中包括2i-1个分路单元,且...
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