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本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池的薄膜钝化结构，它包括SiNx薄膜层、三氧化二铝薄膜层和生长在硅片衬底正面或背面的P型掺杂层上的二氧化硅薄膜层，三氧化二铝薄膜层生长在二氧化硅薄膜层的外表面上，SiNx薄膜层生长在三氧化二铝薄膜层的外表面...
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