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本发明公开了一种3对棒的硅烷法制多晶硅分解炉的排布方式和连接方法。分解炉包括分解炉底盘、分解炉炉体、分解炉顶盘、3对电极、进气口、出气口，中心管式冷却器及冷却水进出口，3对电极固定在底盘上单层排布，成正六边形排布。分解炉底盘和顶盘都布置了一...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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