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化合物晶体制造用的坩埚、化合物晶体的制造装置以及使用坩埚的化合物晶体的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:9902583
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根据本发明的第一方式,一种氟化物晶体制造用的坩埚,用于氟化物晶体的制造,在氟化物晶体的制造中,使粉状或粒状的氟化物原料在预处理炉中熔化并冷却凝固来制作氟化物的预处理品,使制作的预处理品在晶体培养炉中熔化而培养成晶体,坩埚由下述部件构成:有底...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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