下载一种硅块抛光方法的技术资料

文档序号:9899019

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本发明公开了一种硅块抛光方法,包括:采用金刚砂磨石进行研磨,对开方后的硅块进行形状修正和初步表面处理;采用毛刷对经过所述第一抛光工序处理的硅块进行研磨,去除硅块表面的损伤层;其中,所述毛刷包括第一毛刷和第二毛刷;所述第一毛刷位于毛刷的内部;...
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