下载SiF4的制备方法的技术资料

文档序号:9895104

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本发明涉及化工领域,具体而言,涉及一种SiF4的制备方法。SiF4的制备方法,包括以下步骤:将含硅矿物原料或者含硅金属氧化物与氟化物混合,得到混合物;将所述混合物进行反应,得到气态SiF4。本发明提供的这种SiF4的制备方法,其原料价格比传...
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