下载高压硅堆装置的技术资料

文档序号:9891134

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本实用新型涉及一种高压硅堆装置,包括若干硅盘(1),硅盘(1)上设置有硅粒子串(2)和均压环(4),所述的硅粒子串(2)由若干硅二极管(21)串联而成,组成硅粒子串(2)的每个硅二极管(21)分别与一只均压电阻(22)和一只均压电容(23)...
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