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描画装置及描画方法制造方法及图纸
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文档序号:9864348
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本发明提供一种描画装置及描画方法,能够简单地进行用于缓解边界部分的曝光不均匀的调整。在描画装置(1)中,接受从多个形状类型候补中选择射出率函数的形状类型的选择操作,其中,所述射出率函数规定光学单元(40)所具有的多个调制单位(442)在排列...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。
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