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一种基于光斑检测的可视化样品定位操作系统及方法技术方案
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文档序号:9842958
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本发明涉及一种基于光斑检测的可视化样品定位操作系统及方法,它包括可见光激光光源、准直扩束单元、光束聚焦单元、电控移动样品台、CCD图像采集单元和计算机,电控移动样品台上装载有一待测样品;可见光激光光源出射的可见激光依次经准直扩束单元和光束聚...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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