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本发明公开了一种金属有机物化学气相沉积设备喷淋盘清洁装置及其方法，清洁毛刷安装板4安装到旋转电机5的旋转轴上，清洁毛刷8固定安装于清洁毛刷安装板4上，清洁毛刷安装板4安装于清扫废物收集盘3内，抽气管路6一端与清扫废物收集盘3连接，另一端与抽...
该专利属于甘志银所有，仅供学习研究参考，未经过甘志银授权不得商用。

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