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本发明公开一种蒸镀装置，包括：多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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