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本发明涉及一种真空镀膜图案生成装置及方法,真空镀膜图案生成装置包括真空腔室、靶材、带有通孔的镂花板和基材;靶材、镂花板和基材设置在真空腔室内,镂花板设置在靶材与基材之间,靶材出射的镀覆材料透过镂花板上的通孔在基材上沉积成膜。本发明的真空镀膜...该专利属于香港纺织及成衣研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过香港纺织及成衣研发中心有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种真空镀膜图案生成装置及方法,真空镀膜图案生成装置包括真空腔室、靶材、带有通孔的镂花板和基材;靶材、镂花板和基材设置在真空腔室内,镂花板设置在靶材与基材之间,靶材出射的镀覆材料透过镂花板上的通孔在基材上沉积成膜。本发明的真空镀膜...