温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种分区域制样的TEM样品的制作方法，包括：提供样品，所述样品包括多个目标区域，所述目标区域之间的水平距离不超过30微米，垂直距离不超过1微米；对所述样品进行预切，并且对预切后的样品进行U型切；对U型切后的样品中的多个目标区域分别...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。