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在一个实施例中，一种形成隔离间隔结构的方法包括：提供基底层；在所述基底层的上表面之上提供中间层；在所述中间层中蚀刻第一沟槽，将第一隔离材料部分沉积到第一沟槽内；将第二隔离材料部分沉积到所述中间层的上表面之上；在第二隔离材料部分的上表面之上形...
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