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本发明公开了一种超纯电子级氢氟酸的制备方法。该方法包括如下步骤，原料预处理：将原料HF中As元素转化为HAsF6以及AsF5；气化精馏处理：除去杂质；过滤吸收：除去粒径大于0.2μm的颗粒，即得到质量百分浓度为49±0.2%的高纯电子级氢氟...
该专利属于浙江凯圣氟化学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江凯圣氟化学有限公司授权不得商用。

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