下载一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统的技术资料

文档序号:9733183

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本实用新型公开了一种碎屑收集装置。所述碎屑收集装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11),所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方,且具有开口竖直向下的多个喷射口,每个喷射口可以喷射出具有一定间隔...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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