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本发明公开了一种基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器的制备方法，包括以下步骤：以石英片作为衬底，在石英片正面磁控溅射淀积一层Si3N4薄膜；在Si3N4薄膜上涂一层光刻胶，以电极图形作为掩膜板，紫外光曝光后除掉曝光的光刻胶；在处理后的石...
该专利属于广州中国科学院先进技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广州中国科学院先进技术研究所授权不得商用。

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