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本实用新型涉及单晶硅生产设备领域，旨在提供带水冷热屏的单晶生长炉。该带水冷热屏的单晶生长炉的炉体内设有水冷热屏，水冷热屏包括连接固定的呈倒锥形的水冷热屏内筒和水冷热屏外筒，且在水冷热屏内筒和水冷热屏外筒之间设有水道，水冷热屏内筒和水冷热屏外...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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