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一种激光辅助制备纳米颗粒的方法和设备技术
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文档序号:9687803
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本发明公开了一种激光辅助制备纳米颗粒的方法及相应设备,属于纳米材料制备领域。该方法将气态先驱物通入等离子体发生装置,经等离子体发生装置活化后进入反应腔;激光发生装置发出的激光束,经反应腔壁上的透镜汇聚后也进入到反应腔,在反应腔内加热活性气态...
该专利属于李学耕;王东所有,仅供学习研究参考,未经过李学耕;王东授权不得商用。
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