下载升针机构和升举装置的技术资料

文档序号:9683517

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本实用新型公开了一种升针机构和升举装置,涉及半导体制造技术领域,使升针的固定更加牢固。该升针机构包括:导杆;升针固定套筒,所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接;所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部;所述挡翼固...
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