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制造高载子迁移率鳍式场效晶体管结构的方法技术
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文档序号:9669580
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一种制造高载子迁移率鳍式场效晶体管结构的方法,包括提供包括硅及高载子迁移率材料的半导体衬底,于该半导体衬底上形成一个或多个鳍式结构,以及使该衬底接受缩合程序,以缩合该高载子迁移率材料。该缩合程序形成缩合的鳍式结构,该缩合的鳍式结构本质上包括...
该专利属于格罗方德半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过格罗方德半导体公司授权不得商用。
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