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本发明公开一种曝光设备及其挡板控制方法，该曝光设备包括：设置有发射器和接收器挡板、和挡板驱动器，挡板和挡板驱动器用于与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置。该控制方法包括：挡板和挡板驱动器与具有多组感应点的基板配合自动确定挡板的位置；...
该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。

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