下载一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面直接沉积SiC涂层的方法的技术资料

文档序号:9661051

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本发明提供一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面直接沉积SiC涂层的方法,包括以下步骤:(1)以石墨发热体加热炉体作为沉积炉,将其抽真空,真空度达到10-1Pa以下;(2)将石墨发热体加热炉内温度升高至1000~1200℃;(3)以氢气为载气,...
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