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本发明提供一种基板保持装置、曝光装置、组件制造方法、液体回收方法、曝光方法、元件制造方法，其中基板保持装置能相对透过投影光学系统所照射的曝光用光，保持基板并移动，该基板保持装置具备：保持部，保持该基板；平坦部，设置成包围该保持部；以及回收部...
该专利属于尼康股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过尼康股份有限公司授权不得商用。

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