下载控制籽晶杆升降的传动装置的技术资料

文档序号:9627075

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本实用新型涉及一种控制籽晶杆升降的传动装置,包括托板,在托板上固定支架,在支架上安装丝杆箱体;在所述丝杆箱体内部安装丝杆,在丝杆的上段套设螺母座,螺母座与晶杆支撑板连接;特征是:在所述丝杆下方安装转接轴,在转接轴上安装涡轮,涡轮与蜗杆啮合,...
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