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一种具有新型近腔面电流非注入区结构的半导体激光器及制造方法技术
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下载一种具有新型近腔面电流非注入区结构的半导体激光器及制造方法的技术资料
文档序号:9619848
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本发明涉及一种具有新型近腔面电流非注入区结构的半导体激光器及制造方法,该激光器包括衬底、缓冲层、下限制层、下波导层、具有量子阱结构的有源层、上波导层、第二上限制层、刻蚀停止层、第一上限制层、欧姆接触层、电绝缘介质层、正面电极和背面电极。本发...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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