下载一种多晶硅锭铸造用坩埚的技术资料

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一种多晶硅锭铸造用坩埚,包括埚体、埚底,所述坩埚内表面喷涂氮化硅涂层,所述坩埚埚底内表面氮化硅涂层上喷涂氮化硅粉与硅粉涂层。改变晶体生长初期底部成核时的粗糙度,以求生长出高效多晶,具有成品收益高、单片硅片成本低的特点。...
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