下载在压电晶体上确定多层薄膜沉积的方法的技术资料

文档序号:9601022

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用于精确地计算到压电晶体坯上的沉积的薄膜层的厚度的方法,在其中可以利用相异的材料,使得能够针对采用外来材料的各种应用进行确定。此外,可以确定未知的沉积的材料的声阻抗率(或等价的z-比率)。当若干层不同材料被顺序地沉积在相同的监视石英晶体上时...
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