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一种具有沟槽终端结构肖特基器件及其制备方法技术
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文档序号:9598086
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本发明公开了一种具有沟槽终端结构肖特基器件,本发明的半导体器件具有沟槽结构的终端,从而改变器件边缘电势的分布,同时简化了器件的制造流程,使用两次光刻工艺,可以实现器件的生产制造。...
该专利属于朱江所有,仅供学习研究参考,未经过朱江授权不得商用。
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