下载一种具有沟槽终端结构肖特基器件及其制备方法的技术资料

文档序号:9598086

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本发明公开了一种具有沟槽终端结构肖特基器件,本发明的半导体器件具有沟槽结构的终端,从而改变器件边缘电势的分布,同时简化了器件的制造流程,使用两次光刻工艺,可以实现器件的生产制造。...
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