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本实用新型公开了一种半导体装置。包括支撑系统、控制系统、制动系统及位置传感器；所述支撑系统包括底板，位于所述底板一侧的多个支杆，每个所述支杆远离所述底板的一端设置有热传感器；所述位置传感器设置于所述底板附近，以侦测所述底板的位置状态，并将所...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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